中古 LAM RESEARCH Rainbow 4XXX series #9145828 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4XXXシリーズは、同社の「コーポレートシリーズ」の下に含まれているエッチャー/アッシャーツールの範囲です。これらのツールは、一連のプロセス制御、プラズマ源、真空ソリューションを介して、薄膜成膜やデバイス構造化などのさまざまな産業用エッチングおよびアッシング用途に、費用対効果の高い信頼性の高いソリューションを提供します。Rainbow 4000シリーズのエッチャー/アッシャーには、独自のエッチング技術が採用されており、低温プロセスから窒化物、オキシニトリド、酸化物、ポリシリコンなどの高効率エッチングまで、幅広いエッチング機能を提供しています。この強力なエッチング技術により、プロセス時間やサンプルの読み込みに依存しない正確で均一な再現性のあるエッチングが保証され、効率的で生産的なプロセスが保証されます。Rainbow 4XXXシリーズは、優れたイオン制御とエネルギー変調機能を提供し、最高の信頼性と精度を実現する高電流、高エネルギーのプラズマソリューション（PSS）のような他の高度なエッチャーソリューションも提供しています。この強力なエッチツールには、MESRインジケータも含まれており、リアルタイムのフィードバックとギャップ距離と飛行時間データの制御を提供します。さらに、LAM RESEARCH Rainbow 4XXXシリーズは、高度な真空制御システムを備えており、真空チャンバーの圧力制御と清浄度、およびプロセスのガス条件を調整するための換気を正確に制御することができます。この信頼性の高い革新的な制御方法と技術の組み合わせにより、正確で正確なエッチングプロセスが保証されます。Rainbow 4XXXシリーズのエッチャー/アッシャーは、ほとんどの産業用エッチングのニーズに対して信頼性が高く、費用対効果が高く、堅牢なソリューションをユーザーに提供するように特別に設計されています。この汎用性の高いツールは、精度、信頼性、柔軟性を提供し、さまざまなエッチング用途のニーズに対応し、エッチングやアッシングのニーズに最適なソリューションです。