中古 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #9402505 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4720は、高度な半導体産業で使用される高性能で高スループットエッチャー/アッシャー装置です。アッシャーシステムは、マイクロエレクトロニクス、光学、フォトニクスなどの電子デバイスで使用されるエッチング、パターン、多層構造を生成するために、いくつかの独自の技術を利用しています。具体的には、化学ウェットエッチングプロセス、ドライエッチングプロセス、物理蒸着プロセスを利用して、これらの結果を生成することができます。LAM RESEARCHレインボー4720エッチャー/アッシャーは、ウェットプラズマエッチング（WPE）、ホットリン酸エッチング（HPAE）、液浸酸化剤（IO）、および電解酸化をサポートしています。これらのプロセスは、有機および無機材料、ならびに金属および合金の両方をエッチングするために使用され、機械的プロセスで可能であるよりも小さい幾何学的および改善された表面品質のパターンまたは穴を生成します。レインボー4720ユニットが使用できるドライエッチング処理は、スパッターエッチング（SE）、キャピラリーエッチング（CE）、および低温エッチング（CE）です。これは、高度にエッチングされたダイヤモンドのような炭素表面と構造を高精度、再現性、微調整の能力に生成するために使用される実証済みのプロセスです。さらに、LAM RESEARCH Rainbow 4720は、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、イオンビーム蒸着（IBD）などの物理蒸着プロセスも利用できます。これらのプロセスには、誘電体、導電性および半導体フィルムなどのフィルムの堆積物、エッチングされている基板を保護およびシールする方法などが含まれます。Rainbow 4720エッチャー/アッシャーを離れて設定する側面は、上記のエッチングおよび成膜技術の多くを利用して、非常にタイトなジオメトリ内のすべての非常に精密なパターンを持つ非常に複雑な多層構造を達成し、複製することができます。これは、機械のマルチステップ機能と高度な画像処理ツール、調整可能な処理能力を最適化し、特定のジョブ要求にエッチングおよび成膜パラメータを調整できるツールによって達成されます。結論として、LAM RESEARCH Rainbow 4720は、比類のない幾何学的構造を持つ非常に複雑な多層構造を生成するために、さまざまな材料を迅速かつ効率的にエッチングおよび堆積することができる高度なエッチャー/アッシャーツールです。その高度な画像処理機能とマルチステップ処理機能は、新興半導体産業にとって理想的な選択肢です。