中古 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #9384076 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4720は、高度なプロセスニーズのために設計されたエッチャー/アッシャーです。超低kV加速電圧を備え、高アスペクト比のエッチングを実現し、より均一な材料層を提供します。これは、高スループット、短いパルス処理および収差補正によって達成されます。レインボー4720エッチャー/アッシャーは、高度なエッチング/アッシング技術を使用して、深く狭いトレンチで垂直壁と広いストップエッチング壁を実現します。素早いプロセスサイクルと底面のエッチング率を向上させ、リフトオフピースの数を削減します。それはLAM RESEARCH Rainbow 4720 HEI（高性能インク）と荷を積むことができます。HEIは、アモルファスシリコンおよび水素化シリコン層の均一で滑らかな導電面を有するエッチング加工プロセス用に設計されています。Rainbow 4720にはマルチモードソースチャンバーがあり、同時にエッチングする機能を提供します。これは、マシンが一度に2つのプロセスを行うことができるので、コストと時間を節約するのに役立ちます。Raspberry Piコントローラは、チャンバー全体を通じて迅速かつ正確な処理を保証し、ソースモジュールは最大限の柔軟性のためにコントローラに完全に統合されています。LAM RESEARCH Rainbow 4720には、均一な材料層と一貫して高いエッチング率を提供するように設計されたLAM RESEARCH標準の閉塞も付属しています。Rainbow 4720には、エッチング/アッシング処理をカスタマイズするさまざまなオプションがあります。デュアルプロセスレトロモード、DCバイアスモジュール、グリーンリボンコネクタ、パターンメモリモードを装備できます。これらのオプションにより、エッチング/アッシングプロセスがお客様のニーズに合わせてカスタマイズされます。LAM RESEARCH Rainbow 4720は、反復可能で高性能なエッチングとアッシングプロセス用に設計された、優れた長期的なサービスと性能を備えています。包括的なメンテナンスパッケージを備えており、最大のプロセス制御と効率を確保するために独自の監視および診断機能を備えています。これらの機能により、Rainbow 4720は、研究および生産アプリケーションでの工業グレードのパフォーマンスを備えたエッチング/アッシングに最適です。