中古 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #9226325 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4720は、重要なハードマスクパターニングプロセスを厳格に制御するために設計された次世代のエッチャー/アッシャーです。この包括的なソリューションにより、エッチングプロセスでプロファイル制御を最適化することができ、従来のエッチャーよりもはるかに高い精度でカーブとフィーチャーを作成できます。Rainbow 4720には、正確でリアルタイム制御のためのセンサーと分析アルゴリズムの完全なクローズドループ装置が装備されています。システムは自動的にエッチング速度とアッシャータイムの変化を追跡し、プロセスの前と中の両方に応じて調整します。これは、繰り返し可能な品質の結果を確保するのに役立ちます。このユニットには、製品の結果をリアルタイムで検証するための高度な高解像度イメージングマシンも含まれています。LAM RESEARCH Rainbow 4720は、最高レベルのパフォーマンスを提供するために組み合わせた数多くのユニークな機能を備えています。機械は最も高い正確さの狭い幅そして堅いコーナー半径を作り出すことができます。また、エッチングプロセスの均一性と精度を維持するユニークなガスフローツールが付属しています。Rainbow 4720は、プロセスサイクル間の空気圧を維持し、乱流を低減し、優れた再現性を提供するユニークな負圧チャンバー設計を誇っています。LAM RESEARCH Rainbow 4720は、長期的な信頼性と性能を最大限に引き出すために高品位のコンポーネントのみで構築された頑丈に構築されたマシンです。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを含む多数のユーザーフレンドリーな機能を備えており、操作が簡単で、重要な情報や設定にアクセスできます。Rainbow 4720は、PCベースのハードマスクから混合フォトマスク、さらにはウェットエッチングまで、複数のプロセスフローのニーズに合わせて完全に構成可能です。このマシンは、プロセス設計における究極の汎用性を提供します。例えば、高スループットと歩留まりを確保するために、ショートサイクルまたはロングサイクル処理をサポートするように簡単に設定できます。全体として、LAM RESEARCH Rainbow 4720は、高度な機能と高いレベルのパフォーマンスを提供し、幅広い重要なエッチングとアッシャープロセスを可能にします。最適化された設計により、Rainbow 4720は最高レベルの精度、再現性、信頼性を実現し、ユーザーはパターニングとハードマスク制御の最新技術にアクセスできます。