中古 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293817739 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4720は、大量生産に使用するために設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は、さまざまなプロセス化学製品で使用するように設計されており、最大エッチング速度30。2 mm2/minを達成することができます。20000のrpmの最高ポンプ速度。Raindow 4720にはシングルステージの高真空ターボポンピングシステムが装備されています。これにより、ユニットは5mTorr以下の総圧力で動作し、ポンプは最大8500 rpmで動作します。Rainbow 4720は、ガスデマンド、エッチング圧力、チャンバー温度、パワーレベルなどのエッチングパラメータを正確に制御する高度なエッチングコントローラを採用しています。また、コントローラにより、オペレータは精密な再現性で再現可能なエッチングを可能にします。コントローラは、プロセスチャンバー温度の変化などのプロセスパラメータを監視することもできます。LAM RESEARCH Rainbow 4720ウェーハプロセスステーションには、最大20個のウェーハのカセットを最大4個まで保持できる真空ロードロックチャンバーが含まれています。その後、ウェーハはエッチングチャンバーに転送され、最大216個のウェーハを収容できます。Rainbow 4720マシンは、一貫したエッチング品質を確保するのに役立つウェーハ保護機能のフルレンジを備えています。これらの機能には、調整可能なガスの流れ、パワーレベル、および温度設定が含まれます。さらに、このツールには、プロセス実行間の残留汚染物質を除去するために使用できるin-situクリーンチャンバーが含まれています。LAM RESEARCH Rainbow 4720は、精密な再現性と制御により、さまざまなエッチングプロセスを実行できる汎用性の高いアセットです。高度なエッチコントローラであり、高いスループット能力により、大量生産アプリケーションに最適です。このモデルは信頼でき、費用効果が大きい、精密なプロセス制御の良質のエッチングを作り出すことができます。