中古 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293813091 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4720は、シリコンウェーハと3D構造の両方を処理するために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。精度、スピード、使いやすさの比類のない組み合わせを提供することができます。この装置は、カセットベースの個別のウェーハステージとアッシングモジュールを備えたシングルピースハンドリングシステムを使用して、正確で反復可能な結果を生成します。Rainbow 4720は高度なプロセス制御ソフトウェアを使用しており、複雑なレシピを最小限の労力で生成および維持することができます。エッチャーとして、4720はアプリケーションによって異なる機能を提供します。単一または複数の層を1つのプロセスでエッチングすることができ、シリコン、ガラス、金属などの異なる材料をタイトな制御でエッチングすることができます。自動ガスフローユニットは、さまざまな化学物質やプロセス条件に合わせて構成することができ、幅広い用途に対応できます。LAM RESEARCH Rainbow 4720は、プラズマおよびRFベースのプロセスを利用してウェーハや基板表面から有機分子や堆積物を安全に除去するアッシング機能も提供します。独自のオートフォーカスマシンは、一貫した深さの材料除去を保証するとともに、処理される表面への損傷のリスクを最小限に抑えるように設計されています。4720はエネルギー効率が高く、運用コストが最小限に抑えられています。それはまた長い耐用年数および低い維持の条件と、非常に信頼できます。これにより、さまざまな生産およびプロセス環境での使用に適しています。Rainbow 4720は、さまざまなシリコンウェーハ処理および3D構造製造アプリケーションで使用するために設計された強力で柔軟なエッチャー/アッシャーです。高度なシングルピースハンドリング設計、精密なプロセス制御ソフトウェア、および自動ガスフロー制御技術を備えており、信頼性の高い結果と最大限のユーザーの利便性を確保しています。高精度でエネルギー効率が高く信頼性が高い4720は、エッチングやアッシング作業の効率化とコスト削減に役立ちます。