中古 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293758944 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4720は、エッチング、アッシング、クリーニングアプリケーション用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、高度な技術と実績のあるテストプロトコルを使用して、信頼性と一貫した結果を提供します。Rainbow 4720の主要コンポーネントは、高出力RFソース、超高真空チャンバー、および標準ツールキットで構成されています。高出力RFソースは、100kHzから1GHzまでの幅広い周波数を生成することができます。RFソースは周波数と電力を変調することができ、ユーザーは幅広い基板のエッチング処理を制御することができます。チャンバーはステンレス鋼から構成され、八角形に形成されます。これは、調整可能なロードロックステージとカスタム設計されたチャンバーウィンドウが装備されています。このチャンバーは、低ベース圧力（1mTORR未満）を維持するように設計されており、効率的なエッチングを保証します。ツールキットには、サンプル操作アーム、プログラム可能な加熱/冷却プレート、サンプル回転ユニット、リモートポンプダウンコントロールボックスが含まれています。サンプル操作アームを使用して、基板をチャンバー内外に正確に搬送し、加熱/冷却プレートを使用して温度の均一性を確保します。サンプル回転機は、基板のRF源への最適な露出を確保するように設計されています。LAM RESEARCH Rainbow 4720は、アダプティブコントロールを使用して、エッチングプロセスのパラメータを調整することで、ハイエッチングの選択性、機能定義、プロセスの均一性を一貫して実現します。また、さまざまなプラズマ診断機能を備えており、ユーザーはリアルタイムでエッチング処理を監視できます。全体的に、Rainbow 4720は、産業用のエッチング、アッシング、クリーニング用途に最適なツールです。幅広いエッチング機能と信頼性の高い一貫したエッチングプロセスをユーザーに提供します。さらに、エッチング工程を監視・制御するだけでなく、さまざまな基板をエッチングすることも可能です。