中古 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293642252 を販売中
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LAM RESEARCH Rainbow 4720は、薄膜からナノメートルスケールのデバイスまで、基板の高速、再現性、コスト効率に優れた処理を提供するエッチャー/アッシャーです。Rainbow 4720は、誘電体フィルム、酸化物、金属、タングステンなどの材料の精密で敏感なエッチングとアッシングを提供します。最先端の半導体プロセスモジュールであるLAM RESEARCH Rainbow 4720は、最大16個のプロセスチャンバーを完全に自動化し、各ステージの独立した制御と同時動作を可能にします。このモジュラーシステムは、処理範囲を拡大し、特定のニーズに合わせて温度、ガス、サイクルパラメータを柔軟に調整できます。Rainbow 4720は最大4つの標準ウェルを提供し、最大16個の浅いプロセスウェルをオプションで提供することで、最大16個のウェーハキャリアを独立して処理でき、スループットと使用率が向上します。このシステムはまた、高度な洗浄技術、プルおよびスクラビングオプションの結果として、マニュアルだけでなく、非常にクリーンな半導体、ナノテク、およびオプトエレクトロニクスアプリケーションにも対応しています。さらに、LAM RESEARCH Rainbow 4720のチャンバーは最大266°Cの動作が可能で、ユーザーの要件を満たすためにさまざまなガスおよびリアクタント制御オプションを提供します。このエッチャー/アッシャーは、水系、有機系、高密度プラズマの広い範囲で複数のフォトレジストとエッチングのレシピを管理することができます。Rainbow 4720は、完全に独立した加熱されたチャンバー構造を備えた先進的なチャンバー設計と、エッチングとアッシングの均一性を向上させるための1〜8つの排気スタックを選択できます。これに加えて、LAM RESEARCH Rainbow 4720はクローズドループで設計されており、完全に排出可能な設計と自動制御システムにより、最小限のメンテナンス、高い再現性、長期的な信頼性を可能にします。要約すると、Rainbow 4720は、少量、半導体、ナノテク、オプトエレクトロニクス用途に最適な、強力で汎用性の高いエッチングおよびアッシングツールです。薄膜からナノメートルスケールのデバイスまで、高精度で再現性のある基板加工を、効率的かつクリーンで費用対効果の高い方法で提供します。
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