中古 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293595660 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4720
ID: 293595660
ウェーハサイズ: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH Rainbow 4720は、薄膜成膜、デバイス製造、マイクロエッチングなど、幅広い材料加工アプリケーションに最適な高精度エッチャー/アッシャーです。Rainbow 4720は、小型デバイス製造および薄膜成膜用に特別に設計されており、精密かつ効率的な処理を可能にするさまざまな機能を提供します。例えば、LAM RESEARCH Rainbow 4720は、エッチングプロセスを正確に制御する圧力制御エッチングチャンバーを備えています。放射状のタングステントライオードで構成されたこのエッチングチャンバーは、エッチングサイクル全体にわたって一貫したエッチング速度で均一なエッチングプロセスを提供します。チャンバーは、均一性、清潔性、一貫性のための厳しい基準に準拠するように設計されています。Rainbow 4720は、エッチングプラズマの圧力とレベルを正確に制御する、特別に設計されたマイクロ波入口も備えています。さらに、LAM RESEARCH Rainbow 4720には、精密なモーションコントロール、高精度、高速サイクルタイムを可能にする高度なモーションコントロールロボットアームも装備されています。ロボットアームは十分に設計されたロードロック機能を備えており、薄膜のウェットおよびドライエッチングに適しています。材料加工の観点から、このロボットアームは、洗浄、堆積、薄型化、および材料の除去に最適です。Rainbow 4720には、ユーザー操作、監視、スケジューリング、およびエッチャーのメンテナンスを可能にする高度な統合制御装置も付属しています。このシステムには、現在のエッチング工程と処理されている材料の状態に関する情報を提供する専用のタッチスクリーンLCDディスプレイが含まれています。この統合ユニットは、エッチングプロセスの可視性を向上させ、ユーザーがマシンを迅速かつ正確に診断およびトラブルシューティングすることができます。LAM RESEARCH Rainbow 4720は、精密薄膜成膜、デバイス製造、および幅広い材料のマイクロエッチング用に設計されたプレミアムエッチング/アッシャー機です。効率的で精密なエッチング/アッシングマシンをお探しの方に最適です。圧力制御エッチングチャンバー、モーションコントロールロボットアーム、統合制御ツールを備えたRainbow 4720は、精密な加工、生産効率の向上、エッチングプロセスのトータルコントロールを提供します。
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