中古 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #152463 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4720は、ダイボンドやワイヤボンドバックエンドプロセスなど、比較的オープンな機械形状を必要とするプロセス用に設計された自動エッチングおよびアッシャーです。自動化された装置は、迅速かつ効率的なプロセスサイクルを可能にし、効率的な運用により、メンテナンスの少ない最高のスループットを実現します。性能の向上、熱循環の低減、堆積均一性の向上により、より低い熱予算を必要とするプロセスで最長の寿命を実現しています。このシステムは、他のエッチャー/アッシャーに比類のない柔軟性とスケーラビリティを備えた幅広いアプリケーションを可能にします。Rainbow 4720は、高性能エッチング、アッシング、イオンエッチング機能を提供し、プロセス内の均一性制御と柔軟性を組み合わせて、幅広いチップ設計を管理します。優れた技術により、信頼性の向上、コストの削減、スループットの向上により、優れたパフォーマンスを実現します。統合されたマルチステップエッチングプロセスを採用することで、優れた均一性、精度、再現性を提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4720は、TCO （Total Cost of Ownership）が最も低いスループットを実現しています。その低い運用コストと高い稼働時間は、最大のスループットと収益性を提供し、その超低汚染は、ダイスをきれいにするのに理想的です。内蔵のI/O制御マシンにより、サーマルサイクルとウェーハの劣化を低減し、スループットを向上させ、金型の品質と歩留まりを維持します。Rainbow 4720はまた、リアルタイムの熱処理プロセス監視、最適化されたノズルおよびスロットル制御、アダプティブガス監視などの完全なソフトウェアツールを備えた高度なプロセスコントロールを提供します。さらに、高度な予測およびメンテナンスツールにより、最高レベルのプロセス再現性と信頼性が保証され、プロセスの問題を正確に特定して分離するためのリアルタイムのプロセス監視が可能になります。包括的なソフトウェアスイートと高度なハードウェアを組み合わせることで、LAM RESEARCH Rainbow 4720はプロセスの最適化、作業品質の向上、スループットの最大化を可能にします。優れたパフォーマンスと柔軟性、および稼働時間の増加、TCOの低減、および超低汚染により、このエッチング&アッシャーは、プロセスを生産的かつ効率的に実行し続けることができます。