中古 LAM RESEARCH Rainbow 4700 #9364649 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4700は、エッチング層の堆積や各種基板上の異方性エッチングの課題に対応するために設計された高度なプラズマ強化化学蒸着（PECVD）エッチャー/アッシャー装置です。Rainbow 4700は、超高性能と低オペレーティングコストの組み合わせにより、半導体およびマイクロエレクトロニクス業界の高精度アプリケーションに最適なシステムです。LAM RESEARCH Rainbow 4700は、シリコン、III-V化合物、およびカーボンやダイヤモンドのようなIII-N化合物を含む様々な基板上の薄い層と高いアスペクト比の構造の精密、選択的、および非均一なエッチングを可能にします。高度なPECVD技術を使用することにより、Rainbow 4700はエッチング速度と方向性を制御し、正確なフィーチャーパターニングを可能にします。さらに、高いアスペクト比と適合性を備えたLAM RESEARCH Rainbow 4700は、超薄膜コーティングの成膜にも適しています。レインボー4700は、優れた適合性と均一性を有する薄膜の堆積を可能にします。また、寄生容量が少ないため、高性能インターコネクトにも使用できます。機械はまた、迅速かつ正確に接触開口をパターン化することができます。LAM RESEARCH Rainbow 4700は、高度な熱管理機能も備えています。これにより、基板の加熱も可能になり、プロセスの均一性と再現性が向上します。さらに、レインボー4700のクローズドループ式温度制御は、基板への不要な損傷を防ぐ非常にタイトな温度制御を提供します。全体として、LAM RESEARCH Rainbow 4700は高度なエッチング/アッシャーツールで、高いエッチング速度と低い運用コストでの適合性を実現します。高度な温度制御機能を備えたRainbow 4700は、高精度コーティングおよびパターニング用途に最適です。その最先端のPECVD技術は、さまざまな基板上の精密、選択的、および非均一エッチングに最適な資産です。