中古 LAM RESEARCH Rainbow 4600B #9313104 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4600Bは、ポリシリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素などの各種フィルム材料のエッチングに使用される高性能エッチングおよびアッシング装置です。強力な紫外線（UV）レーザー光源を最大250ワットの範囲で使用し、最も困難な材料でも非常に高い除去率を実現します。このシステムは、最大350mm x 350mmの大型オンボードチャンバーに加えて、基板材料の正確な位置決めのための統合された高精度のステージ、およびエッチングとアッシュ処理を制御するための高度でユーザーフレンドリーなソフトウェアパッケージなど、いくつかの便利な機能を備えています。レインボー4600Bは、高精度かつ均一な除去特性を維持しながら、ポリシリコンなどの複雑なエッチングフィルムでも優れたフィルム除去率を実現します。この強力なエッチングユニットは、単層および多層プロセスアプリケーションの両方に使用できます。モジュラーアーキテクチャにより、スループットを維持しながら、より大容量に対応できる拡張性が容易になります。LAM RESEARCH Rainbow 4600Bは、さまざまな研究開発や生産環境で使用されるように設計されています。堅牢で信頼性の高い設計により、ダウンタイムとメンテナンスを最小限に抑えながら、長時間の運用が可能です。オンボードチャンバーは簡単にアクセスでき、基板材料の迅速かつ正確なローディングとアライメントのための手動フィーダートレイが含まれています。さらに、インテリジェントガスデリバリーマシンは、均一なエッチングとアッシングの結果を保証します。要するに、Rainbow 4600Bは高性能、高精度で機能豊富なエッチングおよびアッシングツールであり、研究開発と生産の両方に最適であり、幅広い材料の中で均一な高品質の結果を提供します。内蔵のオンボード資産とソフトウェアにより、ユーザーフレンドリーで効率的な拡張性を実現し、より高いボリュームに直面してもパフォーマンス容量は変更されません。