中古 LAM RESEARCH Rainbow 4600B #9145833 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4600Bは、半導体業界のウェーハ加工用に設計されたエッチャー/アッシャーです。所有コストの削減、高度なスループットと画質、プロセス開発と制御のための堅牢な手順を提供します。Rainbow 4600Bは革新的なデュアルチャンバー設計を採用し、高精度で再現性のある優れたプロセス制御を提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4600Bには、最大4つの独立した電極とドライブで構成される2つの最先端の交互の電気化学処理セルが装備されています。4600Bは圧力、温度、流量および集中のような異なった処理変数への容易なアクセスを提供するように設計されています。そのユーザーフレンドリーな操作は、直感的なプロセス監視と制御ソフトウェアによって可能になります。このソフトウェアは、プロセスのバリエーション、ウォームアップとクールダウンシーケンス、およびウェーハウォッシュアウト/リロード時間を最小限に抑え、効率を向上させます。また、カスタマイズ可能なアラーム、アラート、および生産性を向上させるレシピを提供します。Rainbow 4600Bは、ウェーハフェイス全体にわたって優れたエッチング均一性を備え、± 1。0％以内の優れた均一性を提供します。さらに、4600Bは、特定の材料に必要なウェットまたはドライエッチングをサポートしています。この4600Bは、エッチング後のフィルムや構造を厳密に制御するための調整可能なスルーエッチングウェーハ厚さも可能です。LAM RESEARCH Rainbow 4600Bは、寿命の長いパフォーマンスと信頼性を備えて設計されています。独自のRF-On- Metal™電極システムは、低粒子の背景を維持し、汚染を低減するために使用されます。4600Bは、プロセスセルへの容易なアクセスを可能にし、メンテナンス中のサービスコールの必要性を防ぐために、特殊なモジュラー構造設計を備えています。最後に、4600Bには2 m2未満のフットプリントを備えた小さなフットプリントがあり、限られたワークスペースに最適です。