中古 LAM RESEARCH Rainbow 4600 #9313103 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4600は、プラテンと4つのチャンバーで構成されたモジュール式プラットフォームを備えたハイエンドのハイスループットエッチャー/アッシャーで、単一のレシピモードまたは複数のレシピモードで動的な構成が可能です。この柔軟性により、厚膜、薄膜、金属、ガラス、誘電体、低k材料など、幅広い材料の加工が可能です。レインボー4600の2つの主なプロセスは、エッチングと更新で、RFやDCバイアスプラズマなどのさまざまなプラズマ源と、エッチングチャンバー、灰、蒸着チャンバーなどのシステムを使用して行われます。LAM RESEARCH Rainbow 4600に適したエッチング操作用のチャンバーモデルには、シングルチャンバー、ダブルチャンバー、クワッドチャンバー構成があります。モジュラープラットフォームは、手動または自動のプログラマビリティ、プロセス制御、データロギング機能も提供します。Rainbow 4600は、高い均一性と高い選択性、および0。5％の再現性で、さまざまな材料やウェーハサイズに精密なエッチングを生成することができます。これにより、表面の平面化と最適な再現性を備えた特定の特徴の選択的エッチングが可能になります。LAM RESEARCH Rainbow 4600には、容量結合プラズマ（CCP）源が付属しており、自動レベリング、アクティブマッチング、およびその他の高度な機能をサポートすることができます。また、Rainbow 4600は堅牢で使いやすいユーザーインターフェイスを備えており、プロセス制御が不正確であるため、エッチングサーフェスの「ヒール効果」を低減するのに役立ちます。このプラテンは、回転する真空蓋、無菌充填およびアンロード、および沈着後のアニール操作を実行する機能を備えています。さらに、このシステムは統合されたレシピ開発インターフェースも提供しており、ユーザーはさまざまなエッチングレシピを簡単にプログラムできます。LAM RESEARCH Rainbow 4600も最適なプロセス環境のために設計されています。優れた冷却性能、プロセス結果の再現性の向上、およびコスト効率と効率の向上を保証するために、不活性パージとクローズドループ冷却システムが付属しています。さらに、堅牢な熱管理システムは、最高の温度制御、再現性、および精度のための正確な熱と冷却を提供します。これらの機能はすべて、Rainbow 4600を理想的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーソリューションにします。