中古 LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9244836 を販売中
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ID: 9244836
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Etcher, 8"
Non-SMIF type
Automation online component: SECE
Flat orientation type
BCR
Transfer robot: Homonic driver
One process module chamber
Plasma source options: 27/2 MHz Maximum
2500 W Generator
Chuck type option: Bipolar ESC
Wafer pin-up option: Air cylinder
Gas:
(6) Gas lines
MFC Type: Analog
MFC Maker: Unit 8160
Vacuum pump: QDP80
Turbo pump: TS443BW
Signal tower
UPS: 120 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 175A
Power: 208 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 115A
1994 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4528は、高度な半導体生産のために設計されたエッチャー/アッシャーです。精密な温度、真空、化学制御機能を備えた自動装置です。このシステムはマルチレベル構成可能なプロセスモジュールを備えており、複数のプロセスレシピをオンボードのオペレーティングユニットで設定してリコールすることができます。部屋はステンレス鋼から、ガラス窓が付いている機械健康を監視し、汚染を防ぐためになされます。Rainbow 4528は4ゾーンプロセスモジュールを備えており、異なるエッチングおよびアブレーションプロセスを別々のゾーンで実行できます。プロセスモジュールは、追加のプロセスガスに3つの外部アームを使用し、レシピと加工チャンバーを高速に切り替えるための回転ホイールを使用します。このツールはまた、特許取得済みのクラッチとホイールロック機構を備えており、大きなチャンバー間でもスムーズで正確な回転を可能にします。内蔵ソフトウェアを使用してプロセスパラメータを自律的に調整でき、さまざまなプロセスレシピを保存できます。このアセットには、ユーザーが機器の状態、プロセスの状態、およびチャンバー温度を監視できる内蔵の監視モデルも含まれています。LAM RESEARCH Rainbow 4528の堅牢な構造は、過酷な生産条件でも信頼性の高い性能を保証します。このシステムは、工業用スループットと製品ラインのスケーリングに最適です。アクティブなサブミクロンチャンバーを備えたRainbow 4528は、0。5ミクロンまでの機能を処理することもできます。作り付けの安全単位および警報はオペレータの安全および製品品質を保障します。LAM RESEARCH Rainbow 4528は、高度な生産環境向けに設計されており、特定の製品に合わせた複雑なプロセスレシピを作成できます。機械は他のLAMの研究プロダクトと広く互換性があります；半導体製造に最適な選択肢です。直感的なGUIにより簡単なセットアップが可能で、ツールには簡単で繰り返し可能なプロセスのためのさまざまなオートメーション機能があります。
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