中古 LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9170251 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4528は、完全に自動化されたウェットエッチングまたはアッシャー装置です。このシステムは、高信頼性、高速、マルチステージ、マルチエッチングプロセスを使用して、エッチング基板を迅速かつ正確にパターン化します。Rainbow 4528は、直径最大28インチ（71 cm）の基板を迅速にエッチングするように設計されています。幅広いプロセスパラメータを備え、前面と背面の両方のウェットプロセスでエッチングすることができます。統合されたプロセスチャンバーは、均一なエッチングと一貫して高い収率を提供するように設計されています。調節可能なサセプターと液体供給ユニットを使用して、基板全体にわたるプロセスパラメータとさまざまなプロセスレシピの均一性を確保します。調節可能なサセプターは、より高いレベルの湿式エッチング剤を使用し、温度制御を改善することによって、プロセス時間を短縮するのにも役立ちます。LAM RESEARCH Rainbow 4528には、着色されたビューポートやホットウォール設計など、多くの便利な機能が搭載されており、プロセスの可視性を向上させます。染められたビューポートはユーザーがプロセス結果をはっきり点検することを可能にします熱壁の設計はエッチング剤の流れを加速し、電気分解の効果の確率を減らすのを助けます。Rainbow 4528はまた、取り外し可能な冷却トレイと自動ポンプダウンマシンを備えており、ユーザーに安全で効率的な冷却プロセスを提供します。自動化されたポンプダウンツールは、プロセスチャンバーから残りのエチャントをすばやく排出し、エチャント汚染と元チーターを低減するのに役立ちます。8ラックのロードポートを含む幅広いオプションモニタも利用でき、資産のパフォーマンスと信頼性を最大限に高めることができます。LAM RESEARCH Rainbow 4528は非常に信頼性の高いモデルで、プロセス制御と高品質で高速な結果を提供します。それはいろいろな基質にとって理想的であるそれを多くの産業および科学的な適用のための大きい選択にします前面および裏側のぬれたエッチングの解決を両方提供します。調節可能なサセプターと高度なモニタリングを備えたこのエッチング装置は、迅速かつ高精度なエッチングを必要とする人に適しています。