中古 LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9011008 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4528は、半導体部品の大量生産用に設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、低圧化学蒸着（CVD）および高性能プラズマ強化CVD （PECVD）プロセスの両方で最大300mmウェーハを処理できるプラットフォームを備えた、完全自動化されたシングルウェーハエッチング/アッシャー装置です。Rainbow 4528は、ユーザーが特定の要件に合わせてシステムをカスタマイズできるモジュラーアーキテクチャを備えており、チャンバ上のウェーハを下向きに正確に配置するために使用できる静電チャックを備えています。エッチング/アッシャーは、2つの独立したプラズマ源と動的圧力制御ユニットを備えており、ユーザーは原子炉室の圧力とエッチング速度を正確に調整できます。また、ポストエッチング用の研磨機、組み立て前の加工機、性能向上のための真空熱交換器、およびプロセスごとに最大5つのウエハを搬送できる独自のバッチ制御高精度コンベアツールを備えており、サイクルタイムとスループットの向上を実現しています。さらに、LAM RESEARCH Rainbow 4528は、ガスの流れ、圧力、温度、放電などの重要なプロセスパラメータをリアルタイムで監視します。洗練されたウェーハマッピング機能により、レシピの有効性に関する詳細なフィードバックとレンズウェーハ検査を提供します。レインボー4528は、幅広い半導体製品のための効率的なエッチャー/アッシャーソリューションです。