中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520XLE #9097262 を販売中
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ID: 9097262
ウェーハサイズ: 8"
Poly etcher, 8"
Wafer type: flat
Processing type: vacuum
Wafer loading type: normal
Auto Pressure Controller (APC): VAT 84020-R1
Baratron 1: MKS 623 10torr
Baratron 2: MKS 622 2torr
Convectron G/Phillips 275
TMP: Vacuum TC 440-C
TMP controller: Vacuum TC 440-C
Robot: -
Robot controller: -
Generator: ENI GHW 26
Match: ENI MWM-25-02
AC rack: yes
RF controller: yes
Chiller: M and W RPC2/28W-
Process: Edwards E2M40 PFPE
Load lock: Edwards EH-250
Booster: Edwards E2M40
MFC:
Gas 1 O2 500sccm
Gas 2 N2 50sccm
Gas 3 CHF3 50sccm
Gas 4 Ar 1sccm
Gas 5 CF4 100sccm
Gas 6 He 50sccm.
LAM RESEARCH Rainbow 4520XLE etcher/asherは、要求の厳しい環境条件で優れた一貫した結果を提供するように設計された精密プラズマエッチングおよびアッシング装置です。この先進的なシステムは、信頼性の高い真空プラットフォームと人間工学に基づいた設計を備えており、ユーザーはウェーハの正確で効率的な処理を実現できます。この4520XLEは、デュアルモードRFジェネレータ、拡張周波数範囲(450 kHz〜2 GHz)、 2チャンバーロックメカニズムなど、さまざまな高度な機能を提供します。また、ディープエッチングやプロファイルコントロールなど、幅広い用途への適応が可能な高い柔軟性を備えています。デュアルチャンバーのロードロック機構により、加工チャンバへのウェーハの迅速かつ正確な配置が保証されます。この機械には高度なプラズマソースが装備されており、プロセス領域にわたって均一なエッチングプロファイルを提供します。この4520XLEには、いくつかのユーザーフレンドリーな機能と強力なプロセス制御機能が装備されています。その直感的なユーザーインターフェイスは、すべての処理パラメータに簡単にアクセスでき、大きな色のタッチスクリーンディスプレイは、複雑なプロセスの簡単なナビゲーションと制御を保証します。このツールはまた、高度なリモート診断とソフトウェアのカスタマイズ機能を提供し、ユーザーはいつでも簡単に処理パラメータを監視および構成することができます。この4520XLEは、高温、高湿度、高圧などの厳しい環境条件下で優れた信頼性と堅牢な性能を提供するように設計されています。その機械設計には、さまざまな動作条件で正確かつ一貫した結果を保証するために振動を低減するための分離資産が含まれています。さらに、このモデルは、さまざまな安全プロトコルに従って動作するように設計されており、関連するすべての業界標準を満たしています。結論として、LAM RESEARCH RAINBOW 4520 XLEは、幅広い用途の要求に応えるように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。その革新的で信頼性の高い機能は、優れたプロセス制御と効率を兼ね備えており、厳しい環境条件で一貫した正確な結果を達成するための強力なツールをユーザーに提供します。
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