中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9205536 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、幅広いウェーハエッチング/アッシング用途に最適な高度なエッチング/アッシュプロセスツールです。Rainbow 4520i装置は、プロセスパラメータとパフォーマンスを最適化するために特別に設計されました。4520iの高度な設計により、複雑さを軽減し、コストのかかるアップグレードを排除しながら、優れたプロセス制御とプラズマ生成を提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4520iの高度なエッチング/アッシュ技術は、半導体アプリケーション向けに多種多様な材料をエッチングおよびアッシングするための自動、高速、プラズマベースのプロセスをユーザーに提供します。Rainbow 4520iには、ウェーハプロセス制御と効率性を最大限に発揮する多数の機能が搭載されています。ユニバーサルプロセスモジュール（UPM）により、システムからウェーハを取り外す必要なく、複数のプロセスモジュールを迅速に交換できます。これにより、1つのユニットに複数のエッチング/アッシュ処理が可能になります。LAM RESEARCH Rainbow 4520iは強力な診断ツールと分析ソフトウェアも備えており、プロセスの監視と最適化をこれまで以上に容易にします。4520iには大容量の基板キャリアがあり、さまざまな基板を同時に処理するのに最適です。基板キャリアは、最大200ミリメートルのウエハ（オプションの300ミリメートルのウエハ）と4つの対応するトレイを保持することができます。基板キャリアには個々のウェーハヒーターも含まれており、ウェーハ加熱ごとに独立してプロセスの均一性を向上させることができます。Rainbow 4520iは高度なハイスループットマシンで、マイクロエレクトロニクス用途向けの素材の高速エッチングとアッシングを可能にします。このツールは、高度なプラズマプロセスを使用してプラズマストリームを生成し、さまざまな用途の材料のエッチングとアッシングに最適化されています。このアセットは、キャリアを持たないプロセスの経路で設計されており、均一なエッチングとアッシングプロセスを保証するためにノズルアレイを使用しています。LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、プロセスの歩留まりを改善し、時間を管理し、プロセスの一貫性を向上させるように設計されたPowerPACソフトウェアスイートでも利用できます。PowerPACソフトウェアスイートは、すべての制御、最適化、アーカイブ、基本的なモデリング機能を1つの使いやすいパッケージにコンパイルします。PowerPACを使用すると、オペレータは簡単に複数のエッチング/アッシュプロセスを監視、最適化、合理化できます。結論として、Rainbow 4520iは高度なエッチング/灰プロセスツールであり、幅広いウェハエッチングおよびアッシング用途に最適です。高度な設計により、複雑さを軽減し、コストのかかるアップグレードを排除しながら、優れたプロセス制御とプラズマ生成を提供します。この装置には、自動化された高スループットのプラズマベースのプロセスをユーザーに提供する多数の機能が装備されており、1つのシステムで複数のエッチング/灰プロセスを可能にします。