中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9198092 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、基板加工において最高の汎用性と最先端の精度を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。その結果、このシステムは、科学的および産業的研究だけでなく、生産処理にも最適です。Rainbow 4520iは、デュアルカップユニット、垂直マグネトロン源、および精密なエッチングと灰プロセスを可能にする最先端のプロセス監視と制御を採用しています。この機械では、エッチングと灰のタスクは、独立して調整可能で、繰り返し可能で、自動化されたチャンバーで実行されます。この高度な技術により、絶縁体や導体材料などの様々な基板の加工が可能になり、高アスペクト比の機能も実現しています。さらに、エッチャー/アッシャーのプロセスウィンドウは、顧客の要求に応じてカスタマイズすることができます。基板はプレクリーニングチャンバーに導入され、材料除去、モデルベースのプロファイル、エッジビーズ除去が適用され、ポストクリーニングプロセスが続きます。エンドポイント検出（EPD）技術は、エッチングおよびアッシュプロセスに関するリアルタイムのフィードバックを提供することにより、従来のエンドポイント検出方法で改善されます。LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、高度なエッチングとアッシュ機能を備えており、信頼性が高く、堅牢で操作が簡単です。温度と圧力はタッチスクリーンインターフェイスを介して制御され、プロセス中の圧力、流れ、温度、ガス混合比を監視することができます。自己説明メニューにより、プロセス操作が簡素化され、より直感的になります。このツールは、遅いマイクロプロセッサ制御システムを上回る高速パーソナルコンピュータ（PC）を組み込んでいます。多言語ユーザーインターフェイスは様々な言語で利用でき、世界中のエンドユーザーがその機能を利用しやすくなります。汚染管理資産は、プロセスの一貫性と歩留まりを向上させます。結論として、Rainbow 4520iは、科学的および産業的研究だけでなく、生産処理のための完全なソリューションを提供する高度なエッチャー/アッシャーモデルです。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、プロセス制御、堅牢な構造により、さまざまな基板で信頼性が高く、反復可能で反復可能な結果が得られます。