中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9189899 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、半導体産業の高度な加工に使用される高性能のウェットエッチング装置です。それは非常に効率的で、ユーザーフレンドリーで、費用対効果が高く、汎用性の高いエッチングシステムです。Rainbow 4520iは、機能に特化した自動処理ステーションを備えており、幅広い高付加価値の半導体デバイスに精密な温度制御を提供します。このユニットは包括的なプロセスとレシピ管理機能を備えており、事前に定義されたカスタマイズされたレシピを迅速かつ簡単にセットアップしてリコールできます。これには、選択可能なパラメーターからのマルチステップのレシピ開発、およびオンサイトのレシピ編集/デザインが含まれます。さらに、RainbowiシリーズはCCDスライス・バイ・スライス監視機能を備え、リアルタイムの品質保証を提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4520iマシンは、デュアルプロセスガスバルブと統合されたRF発電機を備えた堅牢なステンレス鋼、フロントローディングチャンバーを備えています。真空チャンバは、エッチングおよび堆積プロセスの両方でスムーズで信頼性の高い動作を可能にするように設計されており、圧力はin-situ圧力計を使用して正確に制御されています。チャンバー蓋には、あらかじめ定義された空冷および加熱システムが装備されており、迅速かつ効率的な温度上昇とランプダウン速度を可能にします。RFの発電機はプロセスをエッチングするために必要な高周波エネルギーを提供します；必要に応じてパワーレベル、周波数、チューニングを選択できます。Rainbow 4520iには、精密なエッチング制御のための自動温度制御、完全に連結されたプロセスチャンバー、統合された安全性とアラーム、およびリアルタイムのトラブルシューティングのための統合された診断ツールが搭載されています。さらに、このアセットにはオンサイトシーケンスエディタとモニタが含まれており、エンジニアはパラメータをリアルタイムに調整し、開発中のプロセスを追跡することができます。LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、高度な半導体デバイス処理のための完全に統合されたエッチングモデルです。堅牢で直感的な設計と包括的なプロセスとレシピ管理機能により、Rainbow 4520iは生産性、信頼性、コスト効率に優れた結果を提供します。