中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9171647 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520i
ID: 9171647
ウェーハサイズ: 8"
Dry etcher, 8" SMIF Type Process kit MFCs: ESC UPC.
LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、産業用および学術用に設計された高品質のプラズマエッチャー/アッシャーです。このデバイスは、毎分最大30ミクロンのエッチングと灰の速度を生成することができ、シリコン、ポリイミド、アルミニウム、セラミック、金属などの幅広い材料を処理するために使用することができます。Rainbow 4520iは高速急速火災位置決めシステムを備えており、作業パラメータの迅速かつ正確な位置決め、およびエッチングと灰の高解像度の均一性を可能にします。このデバイスは非常に高速なエッチング速度を持ち、非常に小さな機能サイズのものでも、さまざまな材料で高均一エッチングとアッシングが可能です。LAM RESEARCH Rainbow 4520iは非常に効率的で、非常に短時間で大量の材料を処理できます。高レベルのプロセス制御と精度を備えているため、幅広い材料や基板にわたって一貫したエッチングとアッシングが可能です。また、マルチゾーン動作が可能なため、複数の材料を一度に均一にエッチング/アッシングできます。また、最大限の安全性を確保するためのインターロックシステムを内蔵しており、化学漏れや蓄積を防ぐために非常に効果的なエンクロージャで設計されています。Rainbow 4520iは、高効率で汎用性の高いエッチャー/アッシャーであり、さまざまな産業および学術用途に適しています。このデバイスにはさまざまな機能が搭載されているため、非常に小さいサイズの材料でも、高精度で高均一なエッチングとアッシングが可能です。その高速エッチング率と高レベルのプロセス制御により、幅広い材料や基板にわたって一貫したエッチングとアッシングが可能です。さらに、マルチゾーン操作と組み込みインターロックシステムにより、産業用および学術用の安全で信頼性の高いエッチャー/アッシャーとなります。
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