中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9166186 を販売中

LAM RESEARCHレインボー4520iエッチャー/アッシャーは、複雑で要求の厳しいプロセスの範囲で基板のエッチングとアッシングのために設計された高性能機器です。このシステムは、安全性を損なうことなく、超短エッチングとアッシング時間、精密計測、最高品質の性能を誇っています。基板加熱、冷却、電力供給、その他のプロセスに幅広いオプションを提供し、高レベルのプロセス制御と再現性を実現します。このユニットは、エッチングとアッシングガスとパワーの正確かつ効率的な配信を可能にするマルチゾーン設計を備えています。これは高い柔軟性とプロセス制御と組み合わされ、ユーザーはエッチングとアッシングガスの両方の分布と制御を正確に調整することができます。Rainbow 4520iには、高度な診断機能、真空ベークサイクル、さまざまなマシンセンサーが搭載されているため、ユーザーは主要なプロセス指標を監視し、それに応じてプロセスを調整できます。このツールはまた、特定のプロセス要件を満たすために簡単にプログラムおよび調整することができるさまざまな基板サイズとプロセスレシピをサポートしています。この資産は非常に信頼性が高く、長年にわたり高い信頼性を証明してきました。安全機能も豊富で、クリーンルームやラボでも安心してご利用いただけます。全体として、LAM RESEARCH Rainbow 4520iエッチャー/アッシャー装置は、プロセス性能と再現性のための最高基準を満たす包括的な機能を提供します。ランニングコストの低さ、信頼性の高い操作性、そして比類のない安全機能により、幅広い用途で基板のエッチングとアッシングに人気のある選択肢となっています。