中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9114147 を販売中
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販売された
ID: 9114147
ウェーハサイズ: 8"
Etcher, 8"
SMIF
Isotropic chamber
(26) Slots
Chamber:
Single chamber with variable gap electrode
Main chamber:
(6) Gases
RF Generator model: PDW-2200
RF Power supply: 2.2 kW & 400 kHZ
Isotropic chamber:
(3) Gases
RF Generator model : RFG1250
RF Power supply: 1.2 kW & 13.56 MHz
Automatic match system (LOFAT)
ISO Chamber matcher (AE Matcher AZX 10)
Electrode temperature unit interface
Endpoint detector: Monochronometer
ASS’Y ELCTD,ESC,8”,SEMI: 839-440462-308 (High resist ESC)
Semi open loop back HE cooling
OBITAL Gas box configuration
XLL Wafer detector sensor
Remote interface
Viton O-ring
N2 Ballast Kit
Standard clean gas box
Remote AC control box
Wafer transfer:
Cassette to cassette (Hine 38A indexer)
Pick & place single wafer transport with non contact wafer alignment & flat zone orientation
System controller:
ENVISION E1.5.2 Control system with LCD Monitor
Pressure control:
Automatic pressure control AC-2: Main chamber / Isotropic chamber
Process gas configuration:
Standard clean gas box with 9 MFC's for reaction
Make Model Gas Full scale
MILLIPORE FC-2900V Ar 1000
MILLIPORE FC-2900V CF4 100
MILLIPORE FC-2900V CHF3 100
MILLIPORE FC-2900V He 1000
MILLIPORE FC-2900V O2 500
MILLIPORE FC-2900V N2 100
MILLIPORE FC-2900KZ NF3 1000
MILLIPORE FC-2900V He 500
MILLIPORE FC-2900V O2 100
Main frame / System controller:
(2) Indexers line 38A (853-012600-101, 853-012600-102)
ISO Chamber top gatch (AE Matcher AZX 10) 660-021964-001
Process chamber:
ESC 8" Notch, ceramic 839-440462-308
Electrode, silicon, hi temperature, polish, 8" 839-011907-913
Remote frame:
Chiller: SMC INR-497
Pump:
AA70W
(2) AA40W
Power requirements:
Etcher: 208 V, 3 Phase, 30 A, 5 Wires
RF Cart: 208 V, 3 Phase, 50 A, 5 Wires
1995 vintage.
LAM RESEARCHレインボー4520iエッチャー/アッシャーは、回路基板の製造工程で使用される高度で信頼性の高い装置です。これは、正確かつ正確にエッチングし、重要なコンポーネントをアッシャーするように設計されています。Rainbow 4520iは、革新的な新技術を使用して、ウェーハの一貫した信頼性の高いエッチングまたはアッシャーを保証します。エッチング/アッシャープロセスは、ウェーハ上に小さな構造と特徴を作成するために必要です。LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、優れたエッチング率、表面選択性、均一性、およびエッジプロファイル品質を提供する高エネルギー二酸化塩素（ClO2）化学供給装置を備えています。このシステムは、多くのエッチバックプロセスの必要性を排除し、プロセスフローを改善し、費用対効果を維持することができます。エッチャー/アッシャーには、ユーザーが処理領域を厳密に定義できる高精度の光学サブシステムが装備されています。また、光学サブシステムは高レベルのエネルギー制御を備え、さらにプロセス最適化のための調整可能な圧力ノズルを備えています。最大の生産性を確保するために、Rainbow 4520iには自動ウェーハ交換ユニットと自動ロード機能が搭載されており、処理手順を迅速化します。LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、複雑なエッチングとアッシャープロセスを管理するためのシンプルで直感的な方法を提供するユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えています。使いやすいグラフィカルインターフェイスにより、ユーザーはウェーハプロセスパラメータを素早く設定および調整して最適な結果を得ることができます。さらに生産性を高めるために、Rainbow 4520iには、プロセスパラメータを最適化し、可能な限り最良の結果を得る自動選択補償機能が搭載されています。LAM RESEARCH Rainbow 4520iの追加機能には、プロセスデータの追跡、迅速かつ正確な結果の決定、将来のスループットの予測、および必要に応じてレシピの調整を支援する内蔵機能が含まれています。ユーザーの利便性を高めるために、このマシンには標準のUSBポートも搭載されており、コンピュータまたはネットワークに直接接続できます。全体的に、Rainbow 4520iエッチャー/アッシャーは、エッチングとアッシングの重要なコンポーネントで優れた結果を達成するための優れたツールです。強力な機能、直感的なユーザーインターフェイス、高度なオートメーションにより、エッチングおよびアッシング技術の業界をリードしています。
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