中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #293622809 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、ダイレクトライトや3Dデバイス製造などのアプリケーション向けに設計された高性能エッチャー/アッシャーです。高解像度ステッパー、ワイドウェーハサイズ、レシピセットの大規模なライブラリなど、さまざまな機能を提供しており、多くの業界にとって理想的な選択肢となっています。Rainbow 4520iは、多数のポジショニングポイントと効率的なドライブ機器を備えた高度なステッピングデザインを採用しています。これにより、ウェーハの表面全体に高精度で迅速な位置決めが可能になります。ステッパーは、ミクロンレベルの解像度でパターンを作成することができ、ウェーハの表面に標準および複雑な形状の両方を正確にエッチングまたは灰にすることができます。このシステムにはレーザーアライメントユニット（LAS）も装備されており、各処理ステップの前にウェーハを自動的に整列させることで、高い精度を実現しています。このマシンは、最大13インチの直径で、ウェーハサイズの広い範囲が付属しています。厚さの異なる基板、シリコン、石英、セラミックスなどの材料、および複数のウエハを一度に扱うことができます。さらに、LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、アプリケーションの要件に迅速にプロセスパラメータを適合させるために、多数のレシピセットを備えています。Rainbow 4520iはLAM RESEARCH flexFABソフトウェアを搭載しており、使いやすいグラフィカルインターフェイスとエッチング/灰プロセスのリアルタイムビデオ監視を提供します。このソフトウェアは、レシピの設定と保存、プロセスのステータスに関するデータの取得、ツールの校正、およびさまざまな材料のプロセスパラメータのカスタマイズを容易にするように設計されています。このソフトウェアは、パターンの品質、エッチング、環境データロギングなどの多くの資産診断も提供しています。LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、高度なデバイス製造の要件を満たすように設計された汎用性の高い高性能エッチング/灰モデルです。高解像度ステッパーと幅広いプロセスパラメータを備えたRainbow 4520iは、標準ジオメトリと複雑なジオメトリの両方で優れた結果を生み出すことができます。また、多くの革新的な機能とユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えており、プロセス制御を簡素化しています。この装置は、半導体から光学デバイス製造まで、さまざまな業界に最適です。