中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #293595654 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、信頼性と高度なエッチャー/アッシャープラットフォームです。シングルウェーハ処理機能と複数のエッチング/ストリッピングソース構成を備えており、幅広い複雑なアプリケーションに最適なソリューションです。半導体製品の開発・製造に最適なナノメートルスケールのエッチングとアッシャーを製造することができます。4520iは、低圧で誘導的に結合されたプラズマ源と円筒石英シャワーヘッド、および高周波プラズマ源を利用しています。このデュアルソース構成は、幅広いプロセス範囲での均一性と特定のエッチング選択性の両方を提供します。このシステムには石英チャンバーも含まれており、プロセスガスの使用量が少なく、カーボンフットプリントを削減してシステムを動作させることができます。Rainbow 4520iは、超小型のフットプリントと操作しやすいユーザーインターフェイスを備えているため、あらゆる本番環境に効率的に統合できます。さらに、優れたLevel-1 Class 100クリーンルーム環境を提供し、汚染や干渉信号を最小限に抑えながら、より効率的なプロセスを実現します。4520iはまた、プロセス制御と監視機能の強力な組み合わせを備えており、付加価値の高い柔軟性と機能を提供します。これには、カム充填されたウェーハステージ、統合されたRF制御システム、複雑なチャンバー制御、ウェーハマッピング、および空間的および時間的な非均一性に対処するためのプロセス履歴が含まれます。この精密機能は、エッチングプロセスのパフォーマンスと自動化の完璧なバランスを提供します。4520iには、電極チェーン診断や選択的な監視など、一連の高度な故障監視および診断機能も含まれています。これらの機能は、プロセス制御、最適化、診断のための広範なツールセットを提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4520iは、あらゆるエッチングまたはアッシャー用途に最適なソリューションです。堅牢な機能、プロセス制御機能、診断機能を備えているため、複雑なアプリケーションに効率的かつ正確に使用できます。低圧、誘導結合プラズマ構成と高度な機能セットにより、効率的で正確で費用対効果の高いエッチング/アッシャー処理に最適です。