中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9300070 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520は、高性能で効率的な結果を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。最も難しい基板でも素早く正確にエッチングしてアッシャーするように設計された画期的なエッチングおよびアッシングシステムです。Rainbow 4520は200mmバッチエルボ構成で、96基板を同時に処理できます。パワフルな21チャンバーシステムを搭載し、優れた性能を持つ各種基板のアッシング・ストリップエッチングが可能です。LAM RESEARCH Rainbow 4520には、シーケンシャルプラズマアシストエッチング（SPA）という最先端の技術も搭載されており、エッチングとアッシングを行いながら、厳密な精度を維持することができます。Rainbow 4520の高圧温度制御プロセスチャンバーは、スループットと制御性を向上させたエッチングとアッシャーを可能にします。さらに、乾燥に最適化されたプラズマ発生器は、プロセスを迅速に実行し、制御性を向上させるのにも役立ちます。これは、基板全体にわたってエッチング率のバランスをとるのに役立つ分散均一性制御を備えています。それに均一なエッチング率を維持するために高められたCDの均等性保護の特徴があります。この機能により、重要なデバイス技術においてもCDの均一性の仕様が満たされます。さらに、LAM RESEARCH Rainbow 4520は、ホットスポットやマスクの欠陥がある場合でも良いエッチング率を回復する自動レスキュー機能を備えています。Rainbow 4520には統合されたEdge Bias System （EBS）も搭載されており、ウェハ内均一性を最小限に抑えることができます。この機能とChemRanging機能は、ウェーハエッチングの歩留まりとスループットを最大化するのに役立ちます。LAM RESEARCH Rainbow 4520は最先端のデバイス技術プロセスに最適で、あらゆる半導体エッチング設備に最適です。