中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9300069 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520は、さまざまな基板に金属層を安全かつ正確に堆積するように設計された高精度エッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーは6ガス構成を備えており、ユーザーは処理される材料の組成と蒸着速度を正確に制御することができます。4520は、大容量の垂直に取り付けられたプロセスチャンバーを使用し、ユーザーは一度に複数のバッチを処理することができます。Rainbow 4520の高度な機能により、ユーザーは堆積した金属の厚さ、均一性、形状を完全に制御できます。これは、そのクラスのエッチャー/アッシャーの中で最高のスループットを達成しており、堆積速度は最大1500 nm/minです。4520はまた、特許取得済みのプロセス制御エンジニアリング（PCE）、最適な結果を得るために蒸着速度と組成を正確に監視するクローズドループ技術を搭載しており、ユーザーはさまざまなプロセスを迅速かつ正確に切り替えることができます。LAM RESEARCH Rainbow 4520は操作が簡単で、高度な自動化を提供しているため、バッチプロセスのセットアップと実行が簡単です。直感的な制御装置は、ユーザーが別のディスプレイからプロセスを監視することができますので、彼らは便利にパラメータを設定し、さまざまなレシピを実行することができます。4520には、内蔵のデータ収集ソフトウェア、自動レシピ管理、プロセスチャンバーの真空、ガスの流れ、窒素圧力監視などのさまざまな安全機能など、幅広い機能が搭載されています。Rainbow 4520の堅牢な構造は、極端な環境でも信頼性の高い動作を保証します。エッチャー/アッシャーは、低振動で安定性の高い重量ゲージ、ステンレス鋼のフレームを利用しています。部屋はステンレス鋼から成り、汚染を防ぐために密封されます。自動マッピングされたローダーを使用すると、基板の読み込みとアンロードが便利になり、リソースの効率的な使用が可能になります。4520には、アクティブフィルターを備えた高効率の排気システムが付属しており、すべてのガスや粒子がユニットから迅速かつ安全に除去されるようにします。全体的に、LAM RESEARCH Rainbow 4520は、高性能、簡単な操作、堅牢な構造を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。6つのガス構成、高い沈殿率および高度のプロセス制御はそれを金属の沈殿にとって理想的にします、自動地図を描いた積込み機および有効な排気機械は操作の間に安全および便利を保障します。