中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9296845 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520は、エネルギーの熱伝達を使用してさまざまな材料を製造する高度なエッチャー/アッシャー装置です。主に半導体ウェーハや集積回路の加工、マスキング、平面化、表面改質などに使用されます。このシステムには、3軸、高速線軸ユニット、動的容量性プロセス圧力制御、および調整可能なプロセスチャンバーが装備されています。3軸加工機は、300mm/secまでの再現可能な工程が可能で、高密度パターンを精密に作成できます。動的容量性プロセス圧力は、材料の除去速度を制御するために使用され、材料の表面全体に均一なエッチング速度を確保します。さらに、プロセスチャンバーは最高温度45°Cを提供し、低温で材料を処理することができ、作業への損傷を最小限に抑えます。Rainbow 4520の直感的なユーザーインターフェイスにより、高度なプロセスパラメータに簡単にアクセスできます。レシピ開発、ウェーハトラッキング、プロセスモニタリングなどのプロセス制御パッケージを提供しています。さらに、各ウェーハが正確に処理されるように、リアルタイムフィードバックが提供されます。LAM RESEARCH Rainbow 4520ツールを使用すると、ユーザーはシリコン、ヒ素ガリウム、タンタルなどのさまざまな材料の表面を変換することができます。この多層ツールは、エッチング、アッシング、CVD、レジストストリッピングに精密に使用できます。また、圧力と温度を正確に制御し、エッチングとアッシングのプロセスを正確に調整できます。Rainbow 4520には、ロードロック、温度制御モジュール、不活性ガス供給資産など、さまざまなアクセサリも付属しています。これらのアクセサリーは、ユーザーがエッチングとアッシングのプロセスを正確に制御することができ、結果が正確であることを保証するのに役立ちます。全体として、LAM RESEARCH Rainbow 4520は、プロセスの精密制御を提供する強力なエッチャー/アッシャーモデルです。高密度の集積回路を製作するために特別に設計されており、複雑なパターンを作成することができます。さらに、直感的なユーザーインターフェイスとアクセサリの範囲は、さまざまなアプリケーションに最適な機器です。