中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9280619 を販売中
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ID: 9280619
ウェーハサイズ: 6"
Oxide etcher, 6"
Gases:
Gas 1 / AR
Gas 2 / CF4 / SF6
Gas 3 / CHF3
Gas 4 / HE
Gas 5 / O2
UPC HE
Standard gas box
Calibration
Gas weldment polish
Bottom gas panel exhaust
Wafer transfer:
Open cassette exit, 6"
Entrance load lock wafer holder
Hinge 38A receiver / Sender indexer
Belt driven load station
Standard load station shuttle spatula
AC power:
Fuses for AC/DC power box
AC Input power supply: 208 V, 3 Q, 5 W, 30 A
RF Power supply: 2.2 kW, 400 kHz
Chamber configuration:
Envision system with CRT
Bulkhead system mount
Chamber with variable gap electrode
Automatic match system
Electrode temperature unit interface
Endpoint detector: Monochromatic
ESC Chuck and module
Viton O-ring all change
Standard clean gas box
Pressure control system:
APC Controller
Throttle valve
Isolation valve open / Close type
Upper and lower electrode temperature control:
Chiller type: 2080 TCU
Dual system
Vacuum system
Main chamber: EDWARDS QDP80+QMB250
Pump / IH600
Load lock chamber: EDWARDS QDP80
Dimension and facility
Physical dimensions
Power requirements
Exhaust requirements
Cooling water
Nitrogen
Compressed air: CDA / N2.
LAM RESEARCH Rainbow 4520は、半導体デバイス製造に適した高度なエッチャー/アッシャーです。優れた性能、品質、生産性を提供することができます。迅速なスループットを可能にする最適化されたチャンバー設計により、Rainbow 4520は信頼性と生産性の高いエッチング装置です。LAM RESEARCH Rainbow 4520は、粒子の汚染を最小限に抑え、優れたプロセス結果を提供することができます。高効率ターボポンプと強力な化学エッチング手順を備え、優れた品質の結果で高いスループットを達成します。さらに、エッチャーには、生産プロセスをさらに最適化するためのクイックロードウェーハローディングとアンロードシステムがあります。Rainbow 4520はまた、革新的な0-1-1超高圧（UHP）ガスユニットを備えており、ストレスの少ない高度なパターンデバイスの生産を可能にします。この機械には、最先端の蒸着壁、高度なガスパネルとプロセスチャンバー、および粒子や欠陥の汚染を最小限に抑えるための温度コントローラがあります。アッシャー技術は、優れた層均一性、高速サイクルタイム、高い生産性を可能にします。LAM RESEARCH Rainbow 4520は、最高クラスのアッシャー性能を提供し、デバイスの歩留まりを最大化し、より高い量の材料処理で優れたプロファイル均一性を実現します。このツールは、品質チェックやプロセスチューニングに適した堅牢なプロセスコントロールで構成されています。Rainbow 4520は、高度なベローズとバッフル部品もサポートしており、超低圧力でのHFベースのエッチングをより効率的に行うことができます。さらに、このアセットは独自のセンサー診断機能で構成でき、プロセスのフィードバック、オンラインメンテナンス、エッチング性能と歩留まりの継続的な改善を可能にします。最後に、LAM RESEARCH Rainbow 4520は、コスト効率の高いパッケージで優れた生産性、品質、スループットを提供する、コスト効率の高い精密エッチングモデルです。統合されたコントローラと幅広いオプションを備えたRainbow 4520は、半導体デバイス製造業界の幅広い用途に最適なソリューションです。
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