中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9277852 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asherは、優れたハードウェア構成と高度な技術により、プロセス制御と均一性を向上させる基板処理用の世界クラスのエッチャー/アッシャーです。Rainbow 4520 Asherの機能には、急速熱アニール（RTA）、高速冷却、および高度なプログラム可能な熱浸漬が含まれます。これにより、25°Cから1400°Cの高温処理範囲が可能になり、高度なアプリケーションに最適です。LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asherには、エッチングとアニールの両方のためにプロセス内酸素を監視および制御する高度な酸素計/コントローラが装備されています。これにより、最適化されたプロセスと正確な結果が保証されます。Rainbow 4520 Asherは、現在市場に出回っている他のエッチャーよりも10倍以上の速さでエッチング速度を提供することができます。これにより、生産性と納期が向上します。高度なプロセス制御および監視システム、高度な診断機能、および統合されたフォルト保護、エッチング速度、および材料の一貫性も十分に保証されています。このデバイスは標準的な自動ウェーハ追跡機能を備えており、すべての基板の一貫したプロセスを保証します。LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asherは、重い光学機械構造と高精度の電磁波路アクチュエータの使用によって達成される優れた均一性を提供します。複数の基板サイズの互換性、モジュラプロセスチャンバー設計、誘電RFプロセスなどの追加機能により、さらなる均一性と柔軟性を提供します。Rainbow 4520 Asherには、最大8つの周波数の低周波電源と高周波電源が装備されています。これにより、複数のプロセスレシピで生産性を向上させることができます。このデバイスはまた、基板の自動サイズ選択と識別を提供することができるユニークなインラインInGaAsカメラを備えているため、手動のタッチアップ時間が大幅に短縮されます。LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asherは、最高の精密基板加工を提供します。優れたハードウェア、高度なプロセス制御および監視、強化されたプロセスの均一性と正確な結果により、Rainbow 4520 Asherは多くの業界アプリケーションに最適です。