中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9248825 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520は、エッチングとアッシングプロセスのための高度なプラットフォームです。この装置は、最高のスループットレートで最高品質の結果を提供するように設計されています。イオンミリング、サーマルアシストエッチング、リアクティブイオンエッチング、アッシング、蒸着、スパッタリングなどの最新のエッチング技術が含まれています。Rainbow 4520エッチャー/アッシャーは、柔軟性、精度、および低コストの所有権を提供するために、さまざまなオプションで構成できます。LAM RESEARCH Rainbow 4520エッチャー/アッシャーは、高速自動制御用の組み込みコントローラとデジタル信号プロセッサ（DSP）を内蔵しています。このシステムは、レシピ制御やパルスレベル制御など、幅広いプラズマプロセスオートメーションを提供します。ユーザーは、リアルタイムでエッチング処理を監視することができ、正確さを確保するためにプロセスにリアルタイムのフィードバックを送信することができます。Rainbow 4520には、オートシャットオフ保護、過度の温度からの保護、プロセスガスの浸出など、さまざまな高度な安全機能も含まれています。LAM RESEARCH Rainbow 4520エッチャー/アッシャーは、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスを提供します。このユニットは、LAM RESEARCH特許を取得したバイポーラHFマシンを含むエッチングおよび蒸着システムの範囲が装備されています。このツールには、エッチングとアッシングプロセス間の迅速かつ効率的な遷移を可能にする統合ロードロックも含まれています。また、各種金属、合金、アルミニウム、シリコン、カーボン、半導体材料など幅広い基板に対応しています。Rainbow 4520エッチャー/アッシャーは、低い総所有コストを念頭に置いて設計されています。このモデルは、比類のないプロセス制御、一貫したプロセス結果、低メンテナンスコストなどの高度な機能を提供します。さらに、LAM RESEARCH Rainbow 4520エッチャー/アッシャーは、機器の寿命を最大化するように設計されています。これは、高度なメンテナンスと診断機能の範囲と短いプロセスサイクル時間を組み合わせて、メンテナンスコストを削減します。Rainbow 4520は、ユーザーに最高品質の結果を低トータルコストで提供するさまざまな機能を備えた高度なエッチャー/アッシャーです。このシステムには、業界をリードするエッチングおよび成膜システム、高速自動制御用のエンベデッドコントローラおよびDSP、およびユーザーの安全のためのさまざまな安全機能が装備されています。さらに、LAM RESEARCH Rainbow 4520エッチャー/アッシャーは、最大単位寿命のための短いプロセスサイクル時間で高度な診断およびメンテナンス機能を提供します。