中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9176778 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520は、高度な電子製品の大量生産を可能にするように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。4520は、誘電体エッチングおよびアッシング用途に最適化された、高スループット、高精度のプラズマ処理ソリューションです。フッ素、三フッ化窒素、硫酸、XeF2などの幅広いガスで動作するように設計されています。4520は、正と負の両方のウェーハバイアス電圧条件にも完全に対応しています。Etcher/Asherシステムは半導体製造、LEDの生産および他の高度の電子製品ラインで使用されます。高いエッチング率と再現性に優れた堅牢なプロセス制御を実現し、大量生産に最適なソリューションです。このユニットは、高度なソフトウェアアルゴリズムに保存されたパラメーター設定で、複数のレベルとシーケンスでエッチングを実行する機能を備えています。Rainbow 4520は、8インチの大型LCDタッチスクリーンディスプレイを備えており、オペレータが簡単にパラメーターの調整、エッチング率の監視、ステータスの確認を行うことができます。自動化されたプラズマフローを実行し、プロセスの精度とスループットを最大化することができます。また、安全かつ効率的な運転を確保するために、革新的なガス封じ込めセットアップが装備されています。このマシンは、高度に安定したセットポイント制御やリアルタイムのフィードバック制御などの高度な機能を備えており、1つのバッチから次のバッチへのプロセスの再現性を保証します。また、ガスフロー中の粒子や汚染物質の存在を検出し、再現可能なプロセスを確保するための自動調整を提供する高度なチャンバー制御ツールを備えています。LAM RESEARCH Rainbow 4520は、乾燥機やロードロックなどの他のプロセス機器と統合して、完全に統合された生産資産を作成することもできます。堅牢で高精度なエッチングおよびアッシングモデルで、メンテナンス要件を最小限に抑えて産業レベルのパフォーマンスを提供するように設計されています。