中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9175702 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520は、高度なエッチングおよびアッシング用途向けに設計された業界をリードするエッチャー/アッシャーです。Rainbow 4520は、高いスループットと生産性を実現するデュアルビームレーザー技術、最適なプラズマ密度を実現するユニークなチャンバー設計、および幅広いプロセスおよび環境制御オプションを備えています。LAM RESEARCH Rainbow 4520は、高出力のRF電源とDC電源の両方を備えており、ユーザーは両方のソースを独立して制御することでプロセスをカスタマイズすることができます。エッチャー/アッシャーは、さまざまなエッチング、アッシング、デポジット、クリーニングプロセスを可能にするさまざまなプロセスレシピを提供しています。すべてのプロセスは、スループットと歩留まりを向上させるために最適化されています。Rainbow 4520のユニークなチャンバー設計は、デュアルビームレーザーのエネルギーと均一なプラズマ密度の効率的な利用を提供します。これにより、非常に細かい機能を備えたプロセスを最小限に抑え、手動での介入の必要性を減らすことができます。このチャンバーには、反応種のための複数のソースと、プロセス制御を強化するためのPECVD真空も備えています。LAM RESEARCH Rainbow 4520は、プロセスオートメーションからプロセスモニタリング、データロギングまで、独自のソフトウェアツールの完全なパッケージも提供しています。さらに、プロファイロメトリー、分光法、エリプソメトリー、非接触光学などの計測およびセンシング技術をサポートし、正確なプロセス制御を保証します。包括的なシステムは、エッチングとアッシングプロセス全体にわたって包括的なプロセス制御を提供します。Rainbow 4520は、安全でユーザーフレンドリーな操作を保証するために、包括的でユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。このユニットは、正確な再現可能なプロセスのために検証および校正されており、ユーザーのフィードバックに基づいてさらなる校正または改良が可能です。このマシンはまた、リモートデータストレージとサポートのためのリモートアクセスを提供し、必要なときに顧客サポートが利用可能であることを保証します。LAM RESEARCH Rainbow 4520は、従来のリソグラフィおよびエッチングツールよりも高速なサイクルタイムと高い収率を達成するように設計された、大規模な生産に最適なエッチャー/アッシャーです。高性能で堅牢な機能と使いやすいインターフェイスを備えたRainbow 4520は、高度なエッチングおよびアッシングアプリケーションの業界をリードしています。