中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9098084 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520は、最高の効率で精密なマイクロマシニングタスクを実行するように設計された最先端のエッチャーおよびアッシャーです。このオールインワン装置は、統合されたシングルウェーハおよびバッチ処理機能を提供し、幅広い産業要件に対応する柔軟性を備えています。Rainbow 4520は、1つの便利なソリューションで優れた生産性、性能、信頼性を提供する、クラスで最も先進的なモデルの1つです。LAM RESEARCH Rainbow 4520の技術仕様では、シングルウェーハ処理では負荷/アンロード時間がわずか8。5秒、バッチ負荷は16秒の10インチ（254 mm）のロードロックを備えています。これは、強力な9アンプ、30 W ブラシレスDCモータによって駆動される高速ウェーハ搬送システムによって実現されます。さらに、Rainbow 4520は、1分間に10ウェーハの最適なエッチング/吸引速度を提供し、競合他社よりも優れています。さらに、LAM RESEARCH Rainbow 4520には、2つの基板を同時に効果的に洗浄するための高度なダウジングシャワーヘッドを備えた自動チャンバークリーニングユニットがあります。このマシンはまた、高度なプロセス制御機能の配列を備えており、最適なプロセス制御と再現性を確保します。これには、レシピに設定されたパラメータに従って調整する、複数のデータポイントの正確なリアルタイム測定とフィードバックが含まれます。さらに、Rainbow 4520には、オプションのEtch Plusおよび/またはAspirate Plus機能を備えたさまざまなエッチング/アスピレート機能があります。これにより、基本的なエッチングからアスペクト比の達成が困難なプロセス要件に対応するための汎用性が確保されます。このツールは、完全に自動化されたフォルト検出操作、シャットダウン回復、および関連する診断機能でさらに武装し、資産の稼働時間を改善します。最後に、LAM RESEARCH Rainbow 4520は、プロセス圧力と温度に基づいてRF電力を自動的に制御することにより、より高いエッチング速度を提供するために、高いブーストRF電源を備えています。この駆動能力は、精密なガス流量を維持し、一貫したプロセス結果を保証するために設計されたクローズドループのメタンフローモデルによってサポートされています。高度な自動パージ機能は、エッチングチャンバー内のカーボンレベルを監視して、汚染を抑制し、チャンバーの保存期間を延長します。合計すると、Rainbow 4520は、1つの統合ソリューションで優れたパフォーマンス、管理、自動化機能を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。高い生産性とプロセス制御の向上により、精密な微細加工結果を迅速に達成するための理想的なツールです。