中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #152457 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520超高スループットアッシャーとエッチャーは、高度な半導体デバイス開発用に設計された高性能機器です。Rainbow 4520は、R&D、材料科学、ライフサイエンス向けのアプリケーションに不可欠なバッチ処理に最適です。システムは複数のチャンバーで構成されており、エッチング（乾式）とアッシング（湿式）の両方で動作できます。LAM RESEARCH Rainbow 4520は、300度の回転炉と合計9つの独立して制御されたガス入力を備えた精密プロセス制御を備えており、多種多様なプロセスフローを可能にします。組み込みコンピュータにより、ユーザーはプロセスのすべてのステップを簡単にプログラム、監視、制御できます。内蔵された複数のチャンバは、さまざまな構成で低、中、および高熱エッチングプロセスと高温アッシングを実行することができ、操作の柔軟性を提供します。ユニットは、チャンバ内の温度をリアルタイムで監視し、すべての動作モードで簡単に監視および制御することができ、チューニングによりプロセスのスループットと歩留まりを最大化することができます。さらに、Rainbow 4520は独自のRFプラズマ源を備え、ガス噴射ボウルと内蔵フレアを備えており、低温での均一なプラズマ処理、スループット、接着性、均一性を向上させます。統合されたRFソースは低消費電力プラズマを生成し、新しいフォトレジストの開発、選択性の向上、エッチング速度の均一性の向上に最適です。LAM RESEARCH Rainbow 4520には、エッチングとアッシングプロセスの品質を保証するための界面診断機能も搭載されています。いくつかの追加機能により、Rainbow 4520は信頼性が高く、優れたエッチングおよびアッシングマシンになります。これらの機能には、完全に自動化されたレシピ制御転送ツールと、誤処理を防ぐために設計されたサンプル整合性検証アセットが含まれます。全体として、LAM RESEARCH Rainbow 4520は、高性能エッチングとアッシングモデルを求める人に最適です。その洗練された機能と堅牢なデザインは、研究開発、材料科学、ライフサイエンスのアプリケーションに最適です。多種多様なプロセスフロー、精密プロセス制御、統合されたRFソース、および界面診断により、この装置は優れた性能と信頼性の高い結果を提供します。