中古 LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL #293640389 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4520 XLは、ウエハーや金属など、さまざまな基板上のエッチングや灰に高度な技術を利用したエッチャー/アッシャー機器です。LAM RESEARCH RAINBOW 4520XLは、高アスペクト比のトレンチをエッチングするための先進的なシステムを提供します。Rainbow 4520 XLは、一貫した均一性と細かいラインサイズで浅いトレンチと深いトレンチの両方をエッチングする能力で業界をリードするパフォーマンスを提供します。高精度プラズマ源と一体化した高圧ターボジェットガス搬送機を搭載し、生産性を最大化し、信頼性の高いプロセス結果を提供します。4520 XLのガス供給オプションは、さまざまなプロセスアプリケーションのための多種多様なエッチング化学物質を可能にします。このツールは、革新的なデュアルガスインジェクタ設計を使用したクローズドループ自動スリットスキャン資産を備えており、正確なエッチングと灰プロセスのための一貫したガス流量制御を可能にします。このモデルは、高度なプロセス制御アルゴリズムを使用して、最適なガス流量、ガス圧力、およびエッチング/アッシュパラメータが常に満たされるようにします。また、ガスインジェクタ装置は、薄い層でエッチングする際に最適なプロセスフローを提供するように設計されています。RAINBOW 4520XLは、ステンレス、アルミニウム、チタン、その他の金属など、さまざまな基板をエッチングするための業界をリードする性能を提供しています。これらの基板の高速、高分解能エッチングにより、最も困難な形状でも実現できます。また、統合されたプロセス監視、障害検出および診断、プロセスのパフォーマンス最適化など、さまざまな高度な機能を提供します。統合されたプロセスモニタリングユニットは、対処する必要のあるエラーやプロセスの問題をオペレータに警告するように簡単に設定できるさまざまなアラームを備えています。また、障害検出および診断マシンは、最適な結果を達成するために対処する必要のあるプロセスの問題を特定するための貴重なフィードバックとプロセスデータを提供できます。さらに、高度なプロセス最適化機能により、エッチング速度、ウェーハ位置、およびエッチング/アッシュパラメータを動的に調整し、最高レベルの生産性とプロセス品質を実現します。要するに、LAM RESEARCH Rainbow 4520 XLは、ハイアスペクト比のトレンチ、超深深リセスエッチング、高速、高解像度エッチングを備えたウェーハおよび金属のエッチングに最先端の性能とプロセス柔軟性を提供するエッチャー/アッシャツールです。アセットは、最高レベルのプロセス品質、生産性、プロセス再現性を提供するように設計されています。また、オペレータに高度なプロセス監視、障害検出および診断、およびプロセス最適化機能を提供し、最適な結果を保証します。