中古 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #9276087 を販売中

LAM RESEARCH 4500は、幅広い半導体およびMEMSアプリケーションに優れたエッチングおよびアッシング性能と精度を提供する業界標準のエッチングおよびアッシングシステムです。シリコン、アルミニウム、銅、ニッケル、金など様々な材料の精密エッチングやアッシングに最適なツールです。4500は、誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー/アッシャーであり、エッチングとアッシングのための強力で信頼性の高いツールとなる幅広い機能を備えています。LAM RESEARCH 4500は、高精度機能、再現可能な性能、および低コストの所有コストを提供します。選択領域エッチングとオプションのイオンビームにより、高いスループットとタイトな公差でエッチングとアッシングが可能です。高度なユーザーカスタマイズ機能により、アプリケーション要件に合わせてプロセス設定をカスタマイズできます。4500には、ユーザーが必要に応じてプロセスパラメータを調整できる高度なプロセス監視および制御システムが装備されています。エッチャー/アッシャーには、最適なパフォーマンスを保証するPID制御システムとデジタルコントローラが装備されています。デジタルコントローラを使用すると、ユーザーはカスタムエッチングとアッシングレシピを実行してプロセス制御を強化することもできます。LAM RESEARCH 4500は、さまざまな材料エッチングおよびアッシング用途に適した幅広いソフトウェアおよびハードウェア機能を備えています。柔軟なチャンバー構成、先進的なガス供給システム、および所望のプロセス結果を達成するための幅広い圧力設定を提供します。さらに、高度な基板処理およびロードポートオートメーションシステム、および後処理診断も含まれています。結論として、4500は、業界で利用可能な最高の精度をユーザーに提供する優れたエッチャー/アッシャーです。高度にカスタマイズ可能で、さまざまな機能とソフトウェア制御を提供しています。高いスループット、精度、高度なプロセス制御および監視システムにより、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に適しています。