中古 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #9262478 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4500は、基板、コンポーネント、マイクロエレクトロニクスの効率的な製造のために設計された高度なエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、ドラム、トーチ、拡散ベースのエッチングおよびアッシャー技術を組み合わせて、プロセス制御と精度を向上させます。Rainbow 4500は、コンパクトなフットプリントを備えた使いやすいプラットフォームで、特殊性の高い基板の取り扱いに最適です。さまざまなプロセスレシピ、レシピタスク、組み込みのプロセス保護機能、フィードバック機能を利用して、プロセス変数を効率的に管理できます。このユニットは、チルト可能な高スループットプロセスチャンバーで設計されており、エッチングおよびアッシングプロセスで効率的な均一性と再現性を実現します。圧力密閉チャンバーは、エッチング/アッシングのための広い温度範囲を有し、均一な温度とガスの流れの拡散を可能にします。このチャンバーには、基板の位置決めと操作に便利なスラスタゾーン、および正確な向きと均一なエッチング/灰プロセス用の調整可能な基板ホルダーが装備されています。LAM RESEARCH Rainbow 4500は、幅広い電源設定とドウェル時間を備えた高性能トーチモジュールを使用しており、ユーザーはエッチングとアッシングの要件を全精度で達成できます。このトーチは、酸素、窒素、アルゴン、二酸化炭素などの幅広いガスで動作することができ、チャンバー全体に均一でバランスの取れた温度を提供し、プロセスの最適化と収率の向上をもたらします。Rainbow 4500は、高度なプロセス制御だけでなく、圧力、温度、流量などのさまざまなパラメータも備えており、リアルタイムで調整または事前調整することができます。LAM RESEARCH Rainbow 4500は、オンボードレシピメモリを搭載しており、プロセスの保存とリコールが容易に行え、プロセス結果の繰り返しと再現が容易になります。要するに、Rainbow 4500は、比類のない精度、均一性、再現性を備えたプリスティン基板、コンポーネント、マイクロエレクトロニクスの製造を支援するために設計された、非常に効率的なエッチャー/アッシャーマシンです。このツールの高度な機能、最先端のプロセス制御、および可変パラメータにより、さまざまなアプリケーションに最適です。