中古 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #9231666 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4500は、高生産性エッチングおよびアッシング操作用に設計された完全自動エッチャー/アスパーです。これは、幅広いプロセス技術にわたるさまざまなアプリケーションに適しています。Rainbow 4500は、製造の生産性を向上させながら実装を簡素化するように設計されています。4500は、多軸モーション機能を利用した高度な形状方向制御システムを備え、最大6インチの正方形までの接着ウエハを接着しています。柔軟なアーキテクチャにより、合理化された機器統合とエネルギー効率の高いプロセス操作が可能です。4500には複数のソースがあり、さまざまなプラズマエッチングおよびクリーニングガスを使用してエッチングおよびアッシング操作を行うことができます。また、ウェーハからウェーハへの温度変化を最小限に抑える温度制御チャンバーに内蔵された高度な温度制御技術を備えています。これは、低温アプリケーションでエッチングとアッシングが可能であり、極端な精度でウェーハからタングステンを除去することができます。4500はまた、緊急ガスの遮断、自動プロセス監視、安全な操作を保証する安全距離などの安全機能を統合しています。4500は、広い領域にわたってプロセス結果の均一性を確保するために、高度な4点室で構築されています。これにより、均一なエネルギー配分で効率的にエッチングとアッシングが可能になり、生産および開発プロセスにとって信頼できるツールとなります。4500は、スマートロードポート、ビルトインビジョンシステム、自動ウェーハ監視およびデータ分析機能を提供します。また、潜在的なウェーハの位置決めの問題を排除するためのインテリジェントなウェーハ位置管理も備えています。全体として、LAM RESEARCH Rainbow 4500は、効率的で均一で正確な操作を提供するための複数のソースと機能を備えた高度なエッチャーおよびアッシャーです。統合された安全システムと温度制御チャンバ、高度な4点室、ウェーハ位置決め管理、スマートロードポートは、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に最適なツールです。さらに、ウエハーからタングステンを正確に除去する能力は、生産および開発プロセスのための望ましいツールになります。