中古 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293762182 を販売中

ID: 293762182
ウェーハサイズ: 6"
Etcher, 6" ADVANCED ENERGY PDW 2200 RF Generator.
LAM Rainbow 4500は酸化物、ポリイミドおよび他の薄膜材料の処理のために設計されている高性能、レーザー支援化学エッチャー装置です。この高度なエッチングシステムは、紫外(UV)レーザーアブレーションとケミカルエッチング技術を組み合わせ、他のエッチングシステムよりも高速で優れた結果を達成します。Rainbow 4500は、高精度の3軸モーションコントロールユニットを備えており、エッチング工程中の優れた再現性と精度を提供します。3つの軸にはそれぞれ専用のサーボモータが搭載されており、エッチング処理を正確に制御できます。また、UVレーザービームを基板表面に正確に配置およびパターン化するために使用される半導体レーザーも搭載しています。この紫外線レーザーに355nmの波長があり、30µmまで点サイズを作り出すことができます。エッチング結果を最適化するために、LAM Rainbow 4500にはプロセス制御用の統合ツールがあります。コンピュータ化されたプロセス制御資産を通じて、ユーザーは、特定のタスクにエッチングプロセスを調整するために、レーザーパラメータと化学ソリューションの両方を調整することができます。また、蒸着速度の劣化の抑制、穴充填など、堅牢な安全機能を備えています。Rainbow 4500には、簡単なメンテナンスのための自動洗浄および乾燥装置が付属しています。このシステムは、エッチャーが常に使用可能であり、ダウンタイムを最小限に抑えることを保証します。その耐久性のある構造は、業界や研究アプリケーションのための信頼性の高い、長期的なツールになります。要するに、LAM Rainbow 4500は、レーザーアブレーションと化学エッチング技術を組み合わせて、薄膜材料を迅速かつ正確に処理する最先端のエッチングユニットです。そのコンピュータ化されたプロセス制御機械は精密な制御および柔軟性を提供し、自動化されたクリーニングおよび乾燥用具と維持することは容易です。その優れた精度と再現性により、さまざまな業界や研究用途に最適なツールです。
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