中古 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293757796 を販売中

LAM RESEARCH 4500は、ドライエッチングに使用されるリアクティブイオンエッチャー（RIE）装置です。26cmのLAM RESEARCHパラレルプレート大面積プラズマ源を搭載し、エッチング率と均一性をCO2/SF6しています。このシステムは200mmウェーハに対応し、さまざまなドーピングレベルで均等に表面をエッチングできます。Al2O3、 SiO2、有機材料などのエッチングが可能です。このユニットには13のプロセスチャンバーがあり、ウェーハをエッチングするためのより洗練された精密なプロセスを可能にします。エッチング工程の精度を向上させる制御ウェーハフィーダにより、異なるウェーハ間で一貫した厚さに対応できます。また、精密なベロシティフローティングゾーンプロセスを備えているため、エッチングする材料に正確にチューニングすることができます。このツールの他の機能には、繰り返し可能で一貫したエッチング処理を作成するための温度および圧力制御が含まれます。4500は金属酸化物、化合物、窒化物、オレフィンおよび他のようなさまざまな材料を、エッチングするのに使用することができます。精密エッチングプロセスと長期的な信頼性により、MEMSデバイス、ナノテクノロジー、微細加工回路など、さまざまなアプリケーションに最適です。