中古 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #151093 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4500エッチャー/アッシャーは、精密で信頼性の高いプラズマエッチングとウェット処理機能を提供する高度なデュアルユース半大気システムです。それはいろいろ上限の高度のめっきおよびエッチングの適用のために適しています。Rainbow 4500には完全に統合されたx、 y、 zステージが付属しており、ユーザーはエッチングとメッキのプロセスを最初から最後まで正確に制御できます。柔軟な設計により、ユーザーは同じマシンを使用して完全なプロセスフローを自動化できます。その大きなチャンバーサイズは、大きな基板をエッチングまたはメッキするのに最適です。LAM RESEARCH Rainbow 4500は、高度なプラズマエッチングおよびアッシャー用途向けに特別に設計されています。精密エッチングと均一な蒸着のための高度なRF電源を採用しています。生成されるRFエネルギーはエッチング室内に集中しているため、あらゆるエッチング用途で高い精度と再現性が得られます。Rainbow 4500は、ユーザーがエッチングとメッキ工程を調整できるさまざまな標準機能を備えています。これらの機能により、エッチング速度、エッチング深さ、蒸着速度、フィルム特性、エッチプロファイル、さらには層厚などのプロセス変数を制御できます。LAM RESEARCH Rainbow 4500のアッシャー部分は、化学蒸着やドライエッチングなど、さまざまなプロセスに対応できます。拡散、輪郭、パターニングプロセスを制御することもできます。これにより、従来のめっき方法では実現しにくいユニークで複雑な構造を作成することができます。Rainbow 4500は、パフォーマンスと汎用性の業界リーダーです。ハイエンドめっきやエッチング工程と組み合わせて使用すると、優れた結果が得られます。その統合された機能により、精密で再現性のあるプロセス制御が可能になり、エッチング基板またはメッキ基板がそれぞれ最高品質であることを保証します。そのため、LAM RESEARCH Rainbow 4500は、比類のない精度と再現性を必要とするエッチングおよびメッキ用途に最適です。