中古 LAM RESEARCH Rainbow 4428 #9272635 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4428は、シリコン、酸化ケイ素、GaAs、 GaNなど、さまざまな材料をエッチングまたは灰にする能力を持つエッチャー/アッシャーです。大量のエッチングやアッシング処理に最適で、コストを抑えながらスループットを高めることで最大限の投資収益率を提供するように設計されています。Rainbow 4428は、25°C〜250°Cの温度範囲で、調整可能なガスの流れと圧力設定を備えています。また、高速かつ効率的なエッチングプロセスを提供するターボモーターを備えています。超高純度の結果を出すことができ、エッチングチャンバー内の高い清浄度を確保する自動洗浄装置を備えています。LAM RESEARCH Rainbow 4428は、エッチング/灰レートの向上を可能にする大容量のロードロックで設計されています。ロードロックは、加工される部品への熱影響を低減するのにも役立ちます。このシステムは、正確なエッチングを保証するためにガス入力を制御することができ、幅広いプリカーソル源と互換性があります。Rainbow 4428には、最高レベルのエッチング/アッシュ性能を提供し、プロセス効率を最大限に高めるための高速圧力ポンプユニットも含まれています。機械はエッチングプロセスがきれい、有効であることを保障するために水晶炉の部屋が装備されています。さらに、LAM RESEARCH Rainbow 4428には直感的なユーザーフレンドリーなインターフェースが装備されており、操作が簡単です。また、エアベアリング駆動のリフトテーブルと高度な安全機能を備えており、信頼性が高く安全な操作を提供します。リフトテーブルは、カセットでもトレイでも、ウェーハホルダーをすばやく簡単に配置できるように設計されています。リフトテーブルはまた、エッチング工程中に優れたサンプルアライメントを提供するように設計されています。全体的に、Rainbow 4428は、さまざまな基板の小規模および大規模生産に理想的なエッチャー/アッシャーです。精度を最大限に高め、不確実性を最小限に抑えるために最新のプロセス制御技術で設計されており、信頼性と安全性を確保するための安全機能を備えています。