中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420B #293828102 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420Bは、幅広い素材と機能サイズの範囲にわたって高品質で均一なエッチングを生成するように設計されたエッチャー/アッシャーです。この高度に自動化された装置には、イオンソースとコントローラが装備されており、正確に整列するように設計されており、最適なエッチング速度と均一性のためにイオンを迅速かつ正確に配置することができます。このコントローラは、ソース周波数と電力を制御することができ、高アスペクト比エッチングやプラズマ洗浄などのアプリケーションに複数のプラズマ周波数とパワーレベルを設定することができます。原子炉室内のイオンの均一な分布を維持する能力は、さらに均一なエッチプロファイルを保証します。虹の4420Bは2つの別の反作用の部屋が装備されています、両方とも耐食性を改善するためにステンレス鋼から成っています。チャンバーはUSB制御で、簡単なセットアップと操作が可能です。両チャンバには、電力レベルを制御できるRF電源が装備されています。単一のガス入力システムにより、エッチャー/アッシャーにAr、 N2、 O2などのプロセスガスを導入できます。さらに、高度な温度コントローラ、真空制御機、高度な診断ツールなどの機能も備えており、資産パフォーマンスを最適化するように設計されています。温度調節器は2つの反作用の部屋の精密な温度調整を可能にし、真空制御モデルはプロセス圧力の急速な傾斜を提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4420Bには、薄膜反射測定、水晶モニター、光学干渉計などの高度な測定機能も搭載されています。これらの機能は、プロセス制御を容易にするだけでなく、エッチングプロセスのリアルタイム監視を可能にするように設計されています。Rainbow 4420Bは、精度、柔軟性、均一性を兼ね備えたエッチングおよびアッシング用途に優れたソリューションを提供します。高度な機能と自動化された操作により、プロセスの再現性と高スループットが向上し、高度な診断機能により迅速な障害検出が可能になります。この装置は、高速で高密度のエッチングと均一なフィーチャーサイズを必要とするアプリケーションに最適です。