中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9406962 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420 Etcher/Asherは、半導体ウェーハの製造に使用される堅牢でハイエンドな加工装置です。より高速で精密なエッチング、歩留まりの向上、柔軟な化学機能など、他のエッチング方法よりも多くの利点を提供するように設計されています。レインボー4420は、チャンバー、ロードロック、オペレータのコンソールの3つの主要コンポーネントから構成されています。チャンバーには、フォーカスアセンブリ、3つの異なるノズル設計、および処理コントローラを含むツーリングが収納されています。これは、外部ヒーターとガス制御を組み合わせて、最高温度と最高のスループット率を生成するように設計されています。ロードロックは、高速基板の積み下ろしを可能にするように設計されており、スループットの向上に役立ちます。また、圧力センサーやシャットオフ機構などの追加の安全システムも組み込まれています。オペレータのコンソールは、エッチング処理を管理する場所です。これは、圧力や温度などの高レベル制御パラメータと関連情報の範囲を提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、4インチから13インチまでの幅広い基板を取り扱うことができ、継続的な回収とリサイクル、赤外線削減、断片化、および/または蒸着など、多くの副生成物の回収戦略を提供します。また、最大4つのウェーハを同時に搭載し、4 「x4」から8 「x12」までの基板サイズに対応し、高い基板スループットを実現するように設計されています。レインボー4420は自己口径測定です、従って一貫して良質の部品を作り出すために頼ることができます。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、メンテナンスを最小限に抑えて動作するように設計されているため、その可用性と有効性を長期にわたって維持することができます。また、材料の酸化保護のために組み込まれたシステムが付属しています。Rainbow 4420は、安全シャットダウンやサービスの中断など、さまざまな統合安全プロトコルで製造されています。エネルギー消費の面では、LAM RESEARCH Rainbow 4420は、利用可能な最もエネルギー効率の高いエッチャーの1つです。それは温度の循環または脈打った処理の必要性を減らすために、作動室を通して均一な状態を維持するように設計されています。これは、エッチングが設計パラメータ内で実行されるようにするのに役立ちます。全体として、Rainbow 4420 Etcher/Asherは非常に汎用性が高く、信頼性が高く、効率的なエッチングハードウェアです。ダウンタイムと最大スループットを最小限に抑え、高品質な結果を生み出すように設計されています。基板の集積、基板スループットの最適化、統合された安全プロトコルなど、さまざまな基板に対応できます。また、最大のエネルギー効率のために設計されています。