中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9384291 を販売中
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販売された
ID: 9384291
ウェーハサイズ: 6"
Plasma etcher, 6"-8"
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump chamber
Indexer type: Hinge 38A, 6"-8"
Robot type: Harmonic drive
Robot blade: AL, 6"-8"
EMO Button guard rings
CRT Monitor
Chamber type: Standard
Process: Plasma cleaner
Controller: 32-Bit Microprocessor with CRT
AL Anodize
Source type: Plasma system
RF Power: OEM-12A
Photodiode optical Endpoint
AC2 Pressure control
Temp control: Chiller
Chuck Type: Mechanical clamp, 6"
Match: Manual
Gases:
Model / SSCM / Gas
UFC-1200 / 100 SCCM / O2
UFC-1200 / 300 SCCM / O2.
LAM RESEARCH Rainbow 4420は、複雑な半導体デバイスの開発と製造に使用される最先端のエッチング/アッシング機器です。Rainbow 4420は、高度な技術により、エッチングとアッシングプロセスにおいて非常に高い性能を発揮します。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、大きな作業エリアと下部チャンバー上の上部電極間の調整可能な距離のため、優れた柔軟性を提供します。プロセスの信頼性を高めるために、Rainbow 4420には自動電極調整(AEM)システムが搭載されており、下端と上端の電極を迅速かつ正確にアライメントすることができ、正確で再現性の高いプロセスを可能にします。自動CNC (Computer Numerical Control)マシンを搭載し、複数の異なるエッチングおよびアッシング操作を自動的に実行できます。このCNCツールは、正確なプロセス制御と再現性のために高精度で最適な再現性を備えています。さらに安全性を高めるために、LAM RESEARCH Rainbow 4420には、エッチング/アッシングプロセス中の基板の完全性を保護する真空チャンバーが装備されています。これにより、クロス汚染の可能性を低減し、完成品の品質を維持するのに役立ちます。Rainbow 4420は高速での動作も可能で、優れた結果が得られます。アセットは、エッチングやアッシングなど、さまざまなプロセスレシピを実行して、最も複雑な要件を満たすことができます。全体として、LAM RESEARCH Rainbow 4420は、優れた結果を提供するために利用可能な最新の技術を利用した高度なエッチングとアッシングモデルを表しています。この装置は、品質保証と優れたプロセス制御のために設計されており、あらゆる半導体開発および製造ラボに最適です。
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