中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9374752 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420は、半導体加工に特化した高度なエッチャー/アッシャー装置です。高度なエッチング技術を活用し、シリコンウェーハ、酸化物層、各種誘電体など幅広い基板の精密エッチングを可能にします。Rainbow 4420は、いくつかの設定可能なオプションを備えたモジュラー構造を備えています。高効率のウェット処理室、ガスシャワーヘッド、プラズマアシストエッチングユニット、電源、ガス、冷却剤の先進分配機を1台に集約しています。加工チャンバは、精密な温度と圧力環境を維持するように設計されており、高速で精密なエッチングが可能です。ガスシャワーヘッドは、エッチングガスの温度を維持し、運転の最大の効率と信頼性を確保するために、低温プラズマとともに、高濃度バッファを利用しています。プラズマアシストエッチングプロセスは、エッチングプロセスを正確に制御し、高品質の結果を保証します。LAM RESEARCH Rainbow 4420には、幅広い基板の正確な取り扱いを可能にする高度なレーザーイメージングツールも含まれています。これにより、低温、高精度エッチング、高電流、高分解能プロセスに最適です。最後に、Rainbow 4420はまた、その構造に組み込まれた一連の安全機能を備えており、すべてのオペレータの完全な安全を確保します。これらには、水素センサー、不活性ガス供給資産、緊急停止モデル、および統合診断機器が含まれます。診断システムは、温度、圧力、およびその他のパラメータを監視し、これらの値のいずれかが事前に決定された範囲外にある場合にオペレータに通知します。全体として、LAM RESEARCH Rainbow 4420は、精密で高品質な結果を提供するように設計された高度なエッチングおよびアッシングユニットです。精密エッチング機能、カスタマイズ可能な加工変数、強力な安全機能を兼ね備えているため、半導体加工に最適です。