中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9364647 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420は、効率的なウェーハエッチングを提供するように設計されたエッチャーまたはアッシャー装置です。長さ2。5フィート（761 mm）、幅4。2フィート（1290 mm）の長方形のプロセスチャンバーを備えています。プロセスチャンバーには、対流底面洗浄ステージ、プロセスに異なるガスを供給および導入するためのガスマニホールド、下流のプラズマエッチング源が装備されています。Rainbow 4420は400MHz RFジェネレータを搭載しており、容量結合と誘導結合プロセスモードの両方に対応しています。これにより、幅広いプロセス要件に対応するのに十分な汎用性が得られます。このマシンは、加圧環境と真空環境の両方で動作し、エッチング化学および技術の選択を可能にします。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、異方性、等方性、深反応イオンエッチング（DRIE）など、さまざまなエッチング技術に適しています。また、半自動化されたウェーハのロードアップおよびエッチング後の基板除去も提供しているため、プロセス制御の程度が大きくなります。Rainbow 4420は、一度に最大200個の8インチ（200mm）ウェーハをロードするように構成されていますが、この数は選択されたエッチング化学に依存します。このツールは、毎分1〜400アングストロームのエッチレートを提供します。また、最大6つのシーケンシャルエッチングステップが可能で、ユーザー定義のレシピライブラリに保存できます。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、エッチング能力とプロセス制御オプションの多数を提供する、汎用性の高いエッチャーまたはアッシャーアセットです。その400 MHz RFジェネレータは、エッチング化学や技術の選択の広い範囲を可能にするだけでなく、毎分400アングストロームまでのエッチング速度。最大200個の8インチ（200mm）ウェーハを同時に保持できる大規模なプロセスチャンバーを備え、最大6つのシーケンシャルエッチング工程を提供します。ユーザー定義のレシピライブラリを使用してエッチングプロセスを保存することで、すべてのエッチングアプリケーションに信頼性と再現性の高い結果を提供できます。