中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300199 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420は、薄膜、エッチング機能パターン、およびデバイス処理をサポートするプラズマコーティングを作成するために設計された、プラズマエッチャーとしても知られるエッチャー/アッシャーです。誘電体とポリシリコンの薄膜を様々な高さ、幅、深さに堆積させることができます。レインボー4420エッチャーは、ポリシリコン、酸化ケイ素、窒化ケイ素などの幅広い材料をエッチングまたはアッシャーする機能を提供します。エッチャーはまた、材料エッチングまたはアッシャープロセスにおいて優れた再現性と均一性を提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4420エッチャーは、同時S/Dプロセスを使用して基材を均一に沈殿させ、洗浄します。このプロセスは、RFバイアス、基板バイアス、ガス注入を組み合わせて使用し、より均一なエッチング構造をエッチングし、基板を非常に反復可能で均一な方法で洗浄します。組み合わされたプロセスは、高品質のエッチングを可能な限り低コストでサポートします。Rainbow 4420エッチャーは、モジュール式の柔軟なアーキテクチャを備えており、材料、基板、エッチプロファイルにわたって高い稼働時間と一貫性を提供します。このエッチャーは、リニアモータ駆動の回転テーブルを備えており、基板の急速なスイッチングを可能にし、さまざまな限界および/または条件に柔軟性を提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4420エッチャーには、マニュアルアライメントを低減するビジョンベースのアライメントシステムも搭載しており、ヒューマンエラーのリスクを低減します。レインボー4420エッチャーには複数のガスチャネルと直接ガスインジェクションがあり、最適なガスフローを提供し、選択性を向上させ、最適化されたエッチプロファイルを作成します。また、負荷ロック技術を備えたターボポンプ式のコンピュータ制御真空システムを使用して、ポンプダウン時間を最小限に抑えてクリーンで一貫したプラズマ処理を保証します。LAM RESEARCH Rainbow 4420エッチャーには、レシピにアクセスし、グラフィカルユーザーインターフェイスに関する詳細なプロセス情報を提供できるユーザーフレンドリーな制御システムも付属しています。ソフトウェアには強力なバッチ処理機能が付属しており、複数のレシピの読み込み、アンロード、監視に使用できます。このソフトウェアはまた、将来の使用のためのプロセスデータとアーカイブされたレシピのトレーサビリティをサポートしています。全体として、Rainbow 4420エッチャーは、さまざまなエッチプロファイルの再現性と均一性を考慮して設計された費用対効果の高いエッチングおよびプラズマ処理ツールを業界に提供します。エッチャー独自の設計により、再現性と均一なプロセス結果が得られ、半導体メーカーはより信頼性が高く、一貫して再現性の高い結果を得ることができます。